판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9263047

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 반도체 장치, 평면 패널 디스플레이 및 Micro-electromechanical system (MEMS) 처리에서 사진 마스크 구조 패턴화에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 장치는 3 개의 통합 구성 요소 (광원, 기계식 동작 기계 및 투영 광학) 로 구성됩니다. TEL 리티우스 프로 (TEL Lithius Pro) 는 고출력 광원을 사용하여 초단파 펄스 광원 및 넓은 스펙트럼 가시 광선을 생성 할 수 있으므로 대상 오버레이 및 노출이 가능합니다. 빛은 일관된 결과를 위해 균일성과 강도가 높습니다. 또한, 광원은 동적 전력 변조 (dynamic power modulation) 를 가능하게하여 사용자가 노출 용량을 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 위치 정밀도가 최대 0.3nm 인 기계식 동작 도구 (mechanical motion tool) 는 높은 진공 조건에서 노출 중 웨이퍼를 정확하게 이동할 수 있습니다. 특허를 획득한 첨단 디자인 (clear-edge design) 은 마스크 에지 (mask-edge light) 누출을 최소화하고 좁은 피치 패턴으로 작업하는 경우에도 품질 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로, 잘 제어 된 광학 조명을 제공하는 투영 광학 (projection optics) 은 패턴 확대 및 필드 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 자산은 수차를 없애기 위한 정교한 광학 수정 알고리즘을 통합하여, 최고의 성능과 안정성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Lithius Pro 포토 esist 모델은 단일 계층 및 다중 계층 저항을 모두 위해 안정적이고 고성능 패턴을 제공합니다. 정밀도가 높은 포지셔닝 정확도와 전력 변조를 통해 사용자는 재현 가능하고 반복 가능한 패턴을 얻을 수 있습니다. 또한, 선명한 가장자리 디자인은 마스크 에지 (mask-edge) 조명 누출을 최소화하여 매우 높은 정확도와 정확도를 요구하는 어플리케이션에 이상적인 도구입니다.