판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827336
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 반도체 장치를위한 정밀 리소그래피 마스크를 만들도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. TEL Lithius Pro에는 독점적 인 연구 등급 염화 폴리 비닐 알코올 (PVA) 포토 esist가 장착되어 있으며, 대학 연구에 이상적인 몇 가지 고급 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON Lithius Pro photoresist 시스템은 PVA photoresist의 액체 형태를 사용하여 더 큰 설계 유연성과 photoresist 마스크를 특정 디자인에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 photoresist 단위는 모든 용도로 일관되고 신뢰할 수있는 결과를 제공 할 것을 약속합니다. 광저항제는 프로그래밍 된 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 로 장치 웨이퍼 (wafer) 에 적용되어 연구원이 노출 시간과 용량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, Lithius Pro를 조정하여 리소그래피 마스크를 빠르게 스캔하거나 특정 디자인을 반복할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro의 다른 주목할만한 특징은 패턴 정의 된 중간 밀도 리소그래피를 위해 설계된 BPS (Bake-Processing Machine) 입니다. 이를 통해 연구원들은 고해상도 패턴과 필름을 효율적으로 생산할 수 있습니다. BPS도 특징입니다. 고주파 제어를 자랑하는 퓨전 서모 파일; 자동 시간 및 온도 조절 베이킹 플레이트; 및 소프트웨어 제어 기판. 이러한 기능은 매우 빠르고 효율적으로 세밀한 리소그래피 마스크를 만드는 데 도움이 됩니다. 마지막으로, TEL Lithius Pro photoresist 도구는 완전하게 모니터링되는 작동 환경을 갖추고 있으며, 이는 연구원이 작업할 수 있도록 안전하고 안정적인 설정을 제공합니다. 모든 photoresist 시스템에는 보호 UV 필터링 실드와 사용자 보호를위한 비활성 질소 배기 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 유체 수준 및 온도를 모니터링하여 일관된 작동을 보장하는 환경 센서 (environmental sensor) 도 포함되어 있습니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON Lithius Pro photoresist 장비는 대학의 석판화 연구에 이상적인 많은 기능을 갖춘 고급 연구 등급 photoresist 시스템입니다. PVA 포토 esist 액체는 더 큰 설계 유연성을 제공합니다. 베이크 처리 장치는 고해상도 패턴과 필름을 보장합니다. 그리고 환경 보호 기능은 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다.
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