판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293821725

텔/도쿄 일렉트로닉 리티우스 프로 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro) 는 매우 정밀한 이미징 결과를 요구하는 프로세스 엔지니어를 위해 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 자동화를 통합하여 민감한 반도체 어플리케이션에서 반복 가능한 성능을 제공합니다. TEL Lithius Pro는 현장 호환 Bruker FXF 280 Autoimage 스캐너로 제작되어 높은 이미지 해상도와 감도를 제공합니다. 고급 자동화 기능으로 인해 장치의 웨이퍼 (Wafer) 노출 기록을 쉽게 조작하고 추적할 수 있습니다. 이 기계는 프로세스 챔버 (process chamber) 간에 마이크로 웨이퍼를 빠르게 전송하기 위해 자동화된 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 와 정확한 정렬을 보장하는 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 도구를 장착합니다. 에셋에 내장된 강력한 AIT (Atomic Level Image Trackers) 소프트웨어를 통해 엔지니어는 각 실행을 정밀하게 모니터링할 수 있습니다. 이 강력한 도구를 사용하여 즉석에서 프로세스 특성을 추적하고 예기치 않은 웨이퍼 (wafer) 노출이 발생하지 않도록 할 수 있습니다. 자동화된 이중 초점 메커니즘은 모든 기판에서 일관된 이미징 품질 및 반복 성을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 실시간 온도 모니터와 제어를 제공하여 온도 크리티컬 프로세스를 용이하게합니다. 내장형 고급 빔 제어 튜닝 (Advanced Beam Control Tuning) 기능은 높은 처리량을 유지하고 이미징 정밀도를 보장합니다. 또한 자동 노출 모드 사전 설정 라이브러리 (Automated Exposure Mode Preset Library) 를 통해 유연성이 향상되고 엔지니어가 다양한 Photolithography 응용 프로그램을 신속하게 설정할 수 있습니다. 이 강력한 모델은 반도체, 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 응용프로그램을 비롯한 다양한 업종에서 사용하기에 이상적입니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 사용이 간편해지고, 고급 (Advanced) 자동화는 정확성과 반복성을 보장합니다. Lithius Pro는 신뢰할 수있는 photolithography 솔루션이 필요한 모든 엔지니어에게 적합한 선택입니다.