판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293603809
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판매
ID: 293603809
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Coater / Developer system, 12"
Process: ArF Dry
Factory interface: (5) FOUPs
CIM: ECS / GEMSECS / GEM
Options: LynxOS / TEL
Chiller
T/H Controller
Coater and developer cabinet
Resist cabinet
A/C Power box
Handler:
CRA
IRAM
(3) PRA
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 고급 석판 작동을 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 정교한 이미징 기술과 고급 제어 알고리즘 (Advanced Controling Algorithm) 을 활용하여 매우 정확한 포토레시스트를 만들 수 있습니다. 최첨단 optic 및 프로그레시브 자동화를 사용하면 최첨단 석판화 (lithographic) 결과를 제공할 수 있습니다. TEL 리티우스 프로 (TEL Lithius Pro) 의 통합 광학 단위를 통해 리소그래퍼는 광범위한 해상도를 정확하게 인식 할 수 있습니다. 고급 이미징 알고리즘 (advanced imaging algorithms), 광학 머신 (optical machine) 및 자동 노출 (automated exposure) 매개변수를 사용하면 매우 훌륭한 기능과 최소한의 왜곡을 가진 포토레시스트를 생성 할 수 있습니다. 또한, 필수 피드백 도구는 석판 제작자가 자산의 안정성을 모니터링하고 유지하는 데 도움이됩니다. 이 모델은 또한 매우 빠른 컨트롤러를 사용하여 처리량이 높고 지연 시간이 짧습니다. TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 노출 시간, 픽셀 크기 및 광학 밀도를 포함하여 노출 매개 변수를 자동으로 제어합니다. 또한 모양 (Shape), 모서리 정의 (Edge Definition) 와 같은 포토레스 제어를 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 이 장비는 픽셀 단위로 매개변수를 제어하도록 구성할 수 있으며, 이 (가) 매우 세밀하게 제어할 수 있습니다. 또한 Lithius Pro는 손쉽게 유지 관리 및 수리 작업을 수행할 수 있도록 설계되었으며, 많은 구성 요소를 쉽게 교체할 수 있습니다. 임베디드 품질 제어 장치 (Embedded Quality Control Unit) 를 포함하여 시간의 흐름에 따라 시스템 성능을 모니터링하는 툴을 제공하여 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 고품질의 고급 포토 esist 기계입니다. 정교한 컨트롤 시스템과 강력한 이미징 (imaging) 기술을 결합한 이 도구는 포토 마스크 (photomask) 를 차세대 정확성과 해상도로 밀고 싶어하는 석판화가들에게 적합합니다.
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