판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #9292955

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V는 마이크로 일렉트로닉스, 반도체, 웨이퍼 제작 등 다양한 어플리케이션을 위한 고급 리소그래피 기능을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 광원 (Light Source), 렌즈 (Lenses) 및 자동화된 이동 단계가있는 매우 정밀한 광학 단위를 사용하여 볼륨 패턴 웨이퍼와 나노 가공을 최적화합니다. 기존의 스테퍼 스캐너 시스템과 달리 TEL Lithius Pro V는 컴퓨터 제어 알고리즘을 사용하여 패턴화 중 웨이퍼, 렌즈 및 광원의 정확한 위치를 결정합니다. 이렇게 하면 선 너비와 높이가 엄청나게 정확해지며, 패턴화된 각도 (patterned angles) 와 굵은 선 (thick line) 을 생성하는 데 매우 효과적입니다. TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV 머신은 종합적인 오버레이 정렬 개념, 고급 리소그래피 시뮬레이션 및 제어, 고성능 이미지 처리 엔진 등 다양한 소프트웨어 및 하드웨어 기능을 통합합니다. 이 도구에는 광원 (Light Source), 진공 챔버 (Vacuum Chamber) 및 사용자 친화적 인 운영 콘솔과 같은 다양한 코어 액세서리가 포함되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV 자산의 성능을 최적화하기 위해 노출 에너지, 오버레이 정렬 정확도 및 노출 시퀀스 등 다양한 매개 변수를 조정할 수 있으며 사용자 친화적 인 GUI, 자동 패턴 및 고급 석판화 시뮬레이션. TEL LITHIUS PROV 모델을 사용하면 향상된 리소그래피 생산량, 주기 시간 감소, 제품 품질 향상 등의 이점을 누릴 수 있습니다. 이 장비는 또한 자동 정렬 수정, 가속 베이킹 및 치료, 고성능 로직, 메모리 장치 등 고정밀 장치에 대한 정확한 패턴화 (patterning) 를 지원합니다. 또한, Lithius Pro V 시스템의 고객은 하나의 노출이 작고, 사이트별 패턴을 제공하기 때문에, 확장 된 일광 개발 시간을 이용할 수 있습니다. 정확도가 향상 된 LITHIUS PROV 장치는 또한 높은 수준의 설계 유연성을 제공합니다. 고객은 가장 복잡한 디자인에서도 다양한 리소그래피 디자인을 만들 수 있습니다. 도쿄 일렉트로닉 (TOKYO ELECTRON) 리티우스 프로 V (Lithius Pro V) 는 시간 및 비용의 일부분에서 매우 복잡한 고품질 제품을 만들기 위해 필요한 정밀도, 오류 없는 패턴을 고객에게 제공하도록 설계된 고급 포토레지스트 머신입니다.