판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #293823961
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V 포토 esist 장비는 다양한 전자 기기를 제조하는 데 사용할 수있는 석판화 작업마입니다. 그것 은 "크롬 '과 금층 으로 입힌 기질 위 에 감광 물질 (광저항) 의 얇은" 필름' 을 정확 하게 노출 시키고 발전 시키도록 설계 되었다. 이 시스템은 전자 빔 열, 열 처리 저항 장치, 정렬 기, 마스크 정렬 기로 구성됩니다. TEL Lithius Pro V의 전자 빔 기둥은 최대 1,600 개의 전자 볼트의 에너지 범위를 제공합니다. 최대 3 배의 해상도를 자랑하는 이 기계는 0.5 m 정도의 크기 (feature size) 를 구현할 수 있습니다. 이 열의 고급 설계를 통해 처리량을 높이고 안정적인 리소그래피 (lithography) 결과를 얻을 수 있습니다. 열 처리 (thermal treatment) 라고도하는 가열 저항 도구 (heated resist tool) 는 노출 된 포토 esist가 최대 해상도를 위해 그대로 유지되도록 보장합니다. 저항은 전자 빔에 노출되기 전에 최대 200 ° C (200 ° C) 까지 가열되어 기질에 접착력을 증가시킨다. 노출 후, 저항은 전체 기질에 대해 균일 한 발전을 보장하기 위해 더 가열된다. "타이너 '들 은 복잡 한 현미경 작업 을 폭로 하고 해결 하는 데 있어서 매우 정밀 하다. 오픈 필드 전송 정렬기는 기능을 1m까지 해결할 수 있습니다. 이것은 트랜지스터 터널링과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 마스크 정렬기는 마이크로 디스크 또는 복잡한 박막 상호 연결을 재현하는 데 사용됩니다. TOKYO ELECTRON LITHIUS PROBS는 완전히 자동화되어 있으며 다양한 보안 산업 컨트롤러 및 운영 체제와 호환됩니다. 또한이 자산에는 광범위한 사용자 친화적 인 인터페이스와 키패드 액세스가 있습니다. 고품질, 정밀도, 일관성 및 신뢰성을 갖춘 LITHIUS PROB는 전 세계 포토리스 (photoresist) 시스템에서 선호하는 선택 중 하나입니다.
아직 리뷰가 없습니다