판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i #293754275

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V-i는 최고의 정밀 리소그래피 요구를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 (Photoresist) 시스템은 다양한 소재로 기능을 에칭하기 때문에 반도체 산업에 매우 중요합니다. TEL Lithius Pro V-i는 프로젝트 노출을 사용하여 기증 된 마스크의 패턴을 만듭니다. 이것은 패턴 생성기를 사용하여 수행되며, 이는 혁신적인 격자 라이트 밸브 (GLV) 기술을 사용하여 40-nm 라인에서 12.0 mJ/cm2의 노출 용량으로 각 나노 미터의 해상도를 최대 8.5 개까지 생산합니다. 또한 Pro V-i는 VNA (Variable Numerical Aperture) 제어 및 부분 일관성 조명 시스템의 일관성 제어를 사용하여 최적의 오버레이 정확도를 달성합니다. 또한 Pro V-i는 최대 ± 1 nm 초점 모니터링 및 ± 1 mJ/cm2 용량 측정으로 향상된 노출 정확도를 제공합니다. 또한 Pro V-i는 저항 재료의 애싱 (ashing), 클리닝 (cleaning) 및 베이킹 (baking) 과 같은 여러 프로세스를 지원합니다. 이 장치는 또한 스캔 기계 (scan machine), 노출 도구 (exposure tool) 및 조작기 (manipulator) 로부터 전체 전력 과부하 보호를 제공하여 서지 (surge) 로 인해 장비가 손상되지 않습니다. Pro V-i는 또한 고급 제어 전자 제품 (Advanced Control Electronics) 과 같은 다양한 추가 기능을 자랑합니다. 고급 제어 전자 제품 (Customizable Alarm, Security Parameter, Data Archiving 등) 및 자산 자동화를 위한 광범위한 인터페이스를 제공합니다. 마지막으로 Pro V-i에는 초점 정확도 향상을 위한 자동 초점 제어 인터페이스 (Automated Focus Control Interface) 와 노출 간 마스크를 깨끗하게 제거하기위한 이동식 마스크 테이블 풀 (Removable Mask Tabletools) 세트가 포함되어 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO VI는 최고의 정밀 리소그래피 요구를 위해 설계된 엄청나게 발전된 포토 esist 모델입니다. 다양한 기능과 사용자 친화적 인 디자인 (User-Friendly Design) 을 통해 다용도, 신뢰할 수 있는 툴로, 현대 반도체 산업에 이상적인 선택이 가능합니다.