판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #9296908

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I는 다양한 기판의 석판 영상, 필름 개발 및 표면 청소를 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 집적 회로, MEMS, 데이터 저장 및 기타 정밀 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작에 이상적입니다. Pro-I는 3 가지 주요 시스템 (주 시스템, 가스 박스 및 표면 청소 장치) 으로 구성됩니다. 주 기계에는 자외선 (UV) 광원, 영상을위한 스테퍼/스캐너 및 기판 취급을위한 진공 단계가 포함되어 있습니다. 또한 노출 펄싱, 초점 동기화 및 필터 선택을 제공합니다. 가스 박스는 포토 esist 베이킹, 프리 냉각, 에칭 및 냉각 후 가스에 필요한 가스를 제공합니다. 표면 청소 도구는 브러시리스 플라즈마 기반 청소 프로세스를 제공합니다. Pro-I는 25mm까지 이미징 할 수 있습니다. 초점 자산은 < ± 1.0m와 16 MHz의 해상도를 유지하도록 설계되었습니다. 두께가 최대 0.5 m인 기판을 처리 할 수 있습니다. Pro-I의 UV 광원은 최대 레이어 두께가 최대 1.5m 인 0.5m까지 작은 기능을 패턴화하는 데 사용될 수 있습니다. Pro-I는 또한 ATC (Automatic Transmission Control), 파형 발전기, 유전체 서셉터 가열 및 다양한 UV 파장에서 사용할 수있는 다양한 노출 헤드를 포함한 옵션 기능을 제공합니다. 화학 물질 처리 모델 (chemical handling model) 은 사용 된 유해 물질의 양을 줄이고 화학 물질을 재활용하기 위해 재활용합니다. 또한 다양한 유형의 범프를 지원할 수있는 고급 웨이퍼 범핑 (wafer bumping) 옵션을 제공합니다. Pro-I는 가장 높은 수준의 석판화 (lithographic imaging) 및 청소 (cleaning) 를 충족하도록 설계된 완전 구성, 견고하고 신뢰할 수 있는 장비입니다. 사용하기 쉽고, 우수한 수율, 반복 가능성, 높은 수준의 자동화 기능을 제공합니다. 다양한 기판에서 다양한 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 를 제작하기 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 도구입니다.