판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I #293759416

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro-I는 4 챔버 플랫폼, 독점 HEPTACHEM ™ 습식 개발자 화학 및 통합 고해상도 마스크 정렬 장치를 갖춘 고급 포토 esist 장비입니다. photoresist 시스템은 최대 정확도와 최소 정리가 필요한 반도체 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TEL Lithius Pro-I는 대용량 웨이퍼 생산을 위한 최적의 처리량을 위해 여러 웨이퍼를 동시에 처리하기 위해 4 챔버 플랫폼을 갖춘 완전 자동화 장치입니다. 온보드 ASML EBR 제어 기계 (ASML EBR Control Machine), 열 챔버 (Thermal Chambers) 를 통해 균일성과 반복 가능한 처리 작업, 웨이퍼 청소를위한 잠재적 스피커, 환경 영향을 최소화하기위한 연결된 액체 처리 및 배기 시스템이 있습니다. 포토 esist 도구에 사용 된 HEPTACHEM 습식 개발자 화학은 포토 esist의 정확하고 일관된 코팅뿐만 아니라 균일 하고 반복 가능한 코팅 프로세스를 보장합니다. 또한, 적용 전에 화학물에 광 소제를 용해 할 필요가 없습니다. 독특한 HEPTACHEM 화학은 웨이퍼 표면 품질 및 필름 두께에 관계없이 일관된 결과를 제공합니다. TOKYO ELECTRON LITHIUS PRO I 에셋의 통합 고해상도 마스크 Aligner는 웨이퍼 표면에 대한 포토 마스크를 매우 정확하게 정렬합니다. 그런 다음, 마스크된 웨이퍼를 정확하고 일관되게 전제하여 제품의 품질을 확보할 수 있습니다. 4 챔버 플랫폼, HEPTACHEM (TM) 습식 개발자 화학 및 통합 고해상도 마스크 알리그너 (Aligner) 의 조합을 통해 웨이포트 제조업체는 최소 폐기물과 빠른 속도로 고품질 제품을 만드는 고급 포토레시스트 모델을 이용할 수 있습니다. 이 장비는 정확한 프로세스 제어 (process control) 및 반복 가능한 결과가 필요한 반도체 연구 및 제조 응용 분야에 적합한 선택입니다.