판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9407206

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + 는 고급 반도체 장치의 리소그래피 프로세스에 사용되는 차세대 포토 esist 장비입니다. 고급 이미징 성능, 생산성 향상, 수익률 향상 등의 이점을 제공합니다. TEL Lithius i + 는 프런트 엔드 (front-end) 및 백엔드 (back-end) 프로세스를위한 고급 이미징 시스템을 제공하여 최소 0.3um 라인 너비의 고해상도 웨이퍼를 패턴화할 수 있습니다. 이 제품은 빠르고 정확하게 작동하는 완전 자동 정렬 장치 (fully automated alignment unit) 와 함께 제공되며, 동시에 최대 4개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 동작 (advanced motion) 및 온도 조절 시스템 (temperature control systems) 을 특징으로하며, 이는 리소그래피 프로세스 동안 부드럽고 지속적인 흐름을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON Lithius i + 에 사용 된 포토 리스트 (photoresist) 는 석판 촬영 중에 향상된 성능을 제공하고 작은 기능을 만들 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 또한 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 잠재적 인 오류를 감지하고 수정하여 더 많은 수율과 향상된 생산률을 초래할 수 있습니다. 자산에는 고급 열 제어 장치 (Advanced Thermal Control) 가 장착되어 있어 크기와 복잡성에 관계없이 안정적인 웨이퍼 처리 (Processing of Wafer) 가 가능합니다. 고급 광학 모델을 사용하면 분자 수준에서 정확한 해상도 및 대비 조작이 가능합니다. 장비의 고급 자동화 (Automation) 수준은 정렬에서 노출까지 빠르고 정확한 운영을 보장합니다. 이 시스템에는 광학 (Optical) 및 레이저 (Laser) 정렬 도구가 포함되어 있어 최대 해상도의 정확한 웨이퍼 위치를 보장합니다. 내부 모니터링 시스템은 불순물 (impurities) 로 인한 수차 (수차) 를 감지하여 결과의 정확도에 대한 높은 신뢰도를 제공 할 수 있습니다. 이 단위로 생성된 데이터는 자동화된 프로세스 제어 보고서 (automated process control report) 생성에도 사용될 수 있으며, 이는 리소그래피 프로세스의 정확도와 수율을 향상시키는 데 유용한 데이터를 제공합니다. 마지막으로, 이 기계는 다양한 다른 시스템과 호환되며, 완벽한 통합을 제공하고, 사용하기 쉽습니다.