판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9384058

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + 는 photolithography 분야의 응용 분야를 위해 설계된 고급 photoresist 장비입니다. 고정밀도 웨이퍼 (wafer) 패턴화 작업에서 다양한 마이크로패브라이션 프로세스를 위한 최적의 성능을 제공합니다. 이 시스템은 자동 기판 관리, 정밀 저항 코팅 및 노출, 빠른 개발 및 청결 제어를 제공합니다. TEL Lithius i + 는 마이크로패터닝 작동을위한 극도의 정밀도를 제공합니다. 최고 수준의 정확성과 반복성을 갖춘 고정밀 레이저 헤드, 자동 기판 배치를위한 고급 다이빙 유닛 (dicing unit), 광범위한 저항을 처리 할 수있는 저항 코팅 머신 (resist coating machine) 이 특징입니다. 또한, 이 도구에는 노출된 패턴 및 노출 후 베이크 (PEB) 를 고정밀 검증하기위한 내장 샘플러가 있습니다. 도쿄 전자 리티 우스 i + (TOKYO ELECTRON Lithius i +) 는 잔류 입자가 기질에 고착하지 못하도록 특수 기질 청소 장치와 결합 된 포토 esist의 정확하고 고속 개발을 가능하게함으로써 더 빠른 포토 리토 그래피 프로세스를 가능하게한다. 더욱이, 자산은 저항 농도와 분배 화학 저항을 정확하게 측정하고 제어 할 수 있습니다. Lithius i + 에는 과전류 센서, 방사선 모니터 및 소프트웨어 제어 인터 록을 포함한 다양한 고급 안전 기능이 있습니다. 또한 사용자 친화적인 인터페이스와 사용자 정의 (custom) 기능을 통해 작업을 손쉽게 모니터링, 관리, 조정할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 실시간 데이터 수집 및 분석 장비가 장착되어 있어 운영 프로세스에 대한 신속하고 간편한 피드백 (feedback) 이 가능합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + 는 고정밀 웨이퍼 패턴화 작업에서 최적의 성능을 제공하는 고급 포토 esist 시스템입니다. 고급 기판 관리, 빠른 처리, 저항 농도 및 분배에 대한 정밀 제어 기능이 있습니다. 또한, 이 장치에는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface), 내장 안전 (내장) 기능, 다양한 생산 프로세스에 적합한 맞춤형 기능이 장착되어 있습니다.