판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9283131

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i는 고급 정밀 구조 및 부품을 제작할 수 있도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 기판 위 에 적용 되고 자외선 에 노출 되는 액체 광사제 를 이용 하여" 레지스트' 물질 에 "패턴 '을 만든다. 그런 다음 노출 된 영역을 개발 및 에치 (ech) 하여 원하는 패턴을 남길 수 있습니다. 이 장치에는 높은 안정성, 효율성을 보장하기 위한 일련의 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있습니다. 첫째, 이 장치는 기판에 균일 한 photoresist 층을 제공하는 자동 저항 코팅 모듈 (automated resist coating module) 을 포함합니다. 정밀 마스크 정렬기 (precision mask aligner) 는 다양한 마스크를 정확하게 배치할 수 있으며, 다양한 강도의 노출에 사용할 수 있습니다. 게다가, 이 기계 는 "카메라 '를 사용 하여" 포토레지스트' 무늬 를 확인 하는 통합 검사 "모듈 '과 나머지" 레지스트' 를 빨리 청소 하고 벗기는 데 사용 할 수 있는 통합 현상기 "포트 '를 가지고 있다. TEL Lithius i의 또 다른 주요 특징은 고급 자외선 (UV) 광원입니다. 이 고출력 소스는 포토 esist 패턴이 전체 프로세스 동안 일관되게 개발되도록 보장합니다. 이 장치에는 열 제어 모듈 (thermal control module) 이 장착되어 있어 기판의 온도 조절이 가능하여 온도 유발 오류를 줄일 수 있습니다. 고품질 성능으로 인해 TOKYO ELECTRON Lithius i는 고급 정밀 구조와 부품을 제작하려는 사람들의 금 표준이되었습니다. 게다가, 그 생산 비용 은 다른 형태 의 포토레시스트 (photoresist) 시스템 에 비해 비교적 낮아서, 예산 을 의식 하는 산업 을 위한 매력적 인 해결책 이 된다. 이러한 모든 기능을 통해 Lithius i는 다양한 어플리케이션에 이상적인 선택이 될 수 있습니다.