판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9235810

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + 는 사진 리소그래피 과정에서 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이를 통해 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 구현된 회로 패턴을 정확하고 효율적으로 전송할 수 있습니다. 이 시스템은 광 스테퍼 및 프로젝터, 개발 시스템 및 노출 후 베이킹 오븐을 지원합니다. 에지 노출 기능, 이중 파장 노출, 자동 기판 냉각 및 고급 필름 흐름 기술이 특징입니다. TEL Lithius i + 장치는 정확한 레이저 광원, 높은 정확도의 광학 포지셔너 어셈블리 및 펄스 포토 마스크 계기를 포함한 고급 광전자를 사용합니다. 광원은 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 복잡하고 정확한 패턴을 투영하는 데 사용되며, 이는 다양한 노출 시간에 정확하게 노출된다. 노출 후 베이킹 오븐 (Post-exposure baking ovens) 은 노출 된 패턴이 안전하게 전송되도록 하고 자동 기판 냉각은 노출 과정 중 온도 변화를 방지합니다. TOKYO ELECTRON Lithius i + 포토 esist 머신에는 고급 필름 흐름 기술도 있습니다. 이 기술은 정확하게 제어된 매개변수와 레시피를 제공하며, 패턴 기능을 조정할 수 있습니다. 이 툴은 또한 자산 (asset) 이나 별도의 오프라인 (offline) 프로세스로 통합된 프로세스 최적화를 제공합니다. 또한, Lithius i + photoresist 모델의 에지 노출 기능은 패턴의 노출이 최적의 방향으로 형성되고 유지되어 정확한 오버레이 성능을 보장합니다. 또한, 장비는 다양한 파장의 다른 포토 마스크 (photomask) 를 지원할 수있는 이중 파장 노출이 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + photoresist 시스템은 사진 리소그래피 과정에서 귀중한 도구이며, 순회 패턴을 정확하고 효율적으로 구현합니다. 비용 효율적인 견고한 석판화 (lithography) 솔루션으로, 유지 보수 및 사용이 간편하면서 정확하고 고성능의 결과를 제공합니다.