판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9215227

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i
ID: 9215227
웨이퍼 크기: 12"
Coater / Developer system, 12" Main frame.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i는 photolithography 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 고급 스핀 코팅 시스템 (advanced spin coating system) 을 사용하여 균등하고 얇은 액체 광사 층을 실리콘 웨이퍼에 적용합니다. 그 다음 광전자가 자외선 (UV light) 에 노출되어 웨이퍼 (wafer) 표면의 민감한 분자를 활성화시켜 이미지를 형성하도록 반응시킨다. 노출 후, 포토 esist는 용매에 노출되는데, 때로는 "개발자 (developer)" 라고도하며, 이는 포토 esist 레이어의 노출 된 부분을 선택적으로 제거하고 나머지 노출되지 않은 부분 뒤에 남는 데 도움이됩니다. TEL Lithius i photoresist 유닛은 photolithography 프로세스를 효율적이고 비용 효과적으로 만들도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 정확한 이미지 개발을 위해 고해상도 열 이미징 머신이 장착되어 있습니다. 또한 고급 웨이퍼 처리 도구 (Advanced Wafer Handling Tool) 를 사용하여 결함률이 낮아 웨이퍼 서피스를 최대한으로 활용할 수 있습니다. 안전성 측면에서, 자산은 운영자가 유해한 화학 물질에 노출되지 않도록 보호하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Lithius i는 microelectronics, biotechnology 및 optical system을 포함한 다양한 photolithography 응용 프로그램에 사용됩니다. 스핀 코팅 모델은 높은 정확도와 균일성을 제공하여 높은 수율, 고품질 테스트 결과를 제공합니다. 또한 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 열 이미징 시스템 (thermal imaging system) 을 통해 장비가 매우 정확하고 정확한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 게다가, 이 시스템은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 결론적으로, Lithius i는 다양한 photolithography 프로세스에 적합한 신뢰할 수 있고 고급 photoresist 단위입니다. 스핀 코팅 머신 (spin coating machine) 은 포토 esist 필름의 균일, 심지어 코팅을 보장하는 반면 열 이미징 및 웨이퍼 처리 시스템은 정확성과 정밀도를 제공합니다. 이 도구는 또한 안전성과 효율성을 극대화하여 높은 수율, 우수한 테스트 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다.
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