판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9198142

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + Photoresist Equipment는 반도체 장치 제조에 사용되는 전체 기능 시스템입니다. 이 제품은 레이어 별 마이크로미터 두께의 광도 필름 (photoresist film) 의 정확하고 반복 가능한 증착을 제공하여 고품질 웨이퍼와 다이를 초래하도록 설계되었습니다. Photoresist Unit은 증착실, 습식 벤치, 광학 뷰어, 5 개의 전원 공급 장치 및 컴퓨터 제어 모듈로 구성됩니다. 증착실은 기계의 주요 부분입니다. "딥 코팅" 기술을 사용하여 균일 한 포토 esist 필름을 정확하게 입금합니다. 또한 코팅 프로세스를 모니터링하기 위해 진공이 내장 된 뷰 창 (viewing window) 이 있습니다. 습식 벤치에는 증착 과정을위한 솔루션 및 린스 탱크가 포함되어 있습니다. 또한 증착 과정에서 포토 esist 필름을 린징하기위한 펌프가 특징입니다. 이 도구에는 증착 과정에 필요한 전원을 공급하기 위해 5 개의 별도의 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 저항성 코팅 적용을위한 고주파 발전기 2 개와 저항성 필름 레벨링을위한 저주파 발전기 3 개가 있습니다. 전원 공급 장치는 또한 아날로그-디지털 컨버터 (Analog to Digital Converter) 를 갖추고 있으며, 이는 전기장으로부터의 간섭 수준을 줄여줍니다. 마지막으로 TEL Lithius i + Photoresist Asset에는 컴퓨터 제어 모듈이 지원됩니다. 이 모듈을 사용하면 증착 과정에서 쉽게 오류를 조정하고 예방할 수 있습니다. 또한 실시간 데이터로 전체 프로세스를 모니터링하고 피드백 (feedback) 을 통해 증착 프로세스를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON Lithius i + Photoresist Model은 안정적이고 정확한 장비로, 고품질 반도체 장치를 효율적으로 생산할 수 있습니다. 디프 코팅 (dip-coating) 기술, 5 개의 전원 공급 장치 및 컴퓨터 제어 모듈을 사용하여 손쉽게 교정 및 프로세스 모니터링을 수행하는 효율적인 증착 프로세스가 특징입니다.