판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293829708

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+
ID: 293829708
Coater system.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i + 는 고급 반도체 장치 제작 프로세스를 지원하도록 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 고해상도 (High Resolution) 와 다양한 동적 범위의 노출 파장을 가진 최고 품질의 포토레스트 (photoresist) 를 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 복잡한 패턴 (pattern) 모양과 크기를 처리할 수 있으며, 특정 장치 제조 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 TEL 고급 i-Line ETL 균일성 기술을 통합하여 웨이퍼 표면에 걸쳐 뛰어난 균일성 및 균일성 제어를 제공하여 생산성을 극대화합니다. 강력한 웨이퍼 모서리 정렬 머신 (wafer edge-alignment machine) 을 사용하면 패턴을 정확하게 배치하고 피쳐와 패턴을 정확하게 배치하여 보다 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. TEL Lithius i + 는 직관적인 터치 스크린 패널의 사용자 친화적 인 제어 도구 (Control Tool) 에 의해 작동되며, 이를 통해 사용자는 장비를 빠르고 쉽게 설정하고 생산을 시작할 수 있습니다. 또한 자동 튜닝, 통합 분광사진기, 이미지 처리 소프트웨어, 이중 지점 광 타겟팅 (optical targeting) 등 다양한 기능을 활용합니다. TOKYO ELECTRON Lithius i + 의 독특한 모듈식 설계로, 필요한 요구 사항에 따라 처리 속도를 쉽게 확장할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 자산의 속도 (speed of asset) 를 변경하여 특정 운영 목표를 달성하고, 변화하는 시장 요구에 신속하고 효과적으로 대응할 수 있습니다. 또한, 이 모델의 모듈식 설계를 통해 사용자는 각자의 요구에 맞게 프로세스를 맞춤형으로 조정하고, 필요에 따라 프로세스를 업그레이드할 수 있습니다. 이 장비는 또한 활성 프로세스 영역을 둘러싼 안전 쉴드 (Safety Shield), 운영자 안전 스위치 (Operator Safety Switch) 및 안전하고 호환 된 작업 환경을 보장하는 안전 연동 메커니즘 (Safety Interlock Mechanism) 과 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능이 결합되어 Lithius i + 가 최첨단 반도체 장치 제조 응용 분야에 이상적인 도구가됩니다.
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