판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8 #9409933

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ID: 9409933
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8은 완전하게 자동화된 포토리스 처리 장비로, 높은 수준의 정확성과 반복성으로 웨이퍼 표면을 패턴화하는 비용 효율적이고 효율적인 방법을 제공합니다. 이 "시스템 '은 대부분 의 청소 장비 와 통합 하도록 설계 되었으며, 매우 다양 한" 포토레지스트' 용액 을 처리 하는 데 사용 될 수 있다. 인터페이스에는 가변 직경 트랙 간격 (variable diameter track spacing) 과 압력 조절기 (pressure regulator) 가 있어 최적의 결과를 보장합니다. 이 장치는 광 프로젝터를 사용하여 원하는 photoresist 패턴을 웨이퍼에 투영합니다. 프로젝터에 사용되는 광원은 UV LED (UV LED) 로, 안정적이고 제어된 파장 및 플럭스로 방출됩니다. Clean Track Mark 8의 트랙 크기는 조정이 가능하여 photoresist 재료를 처리 할 때 더 유연합니다. 반사도와 같은 다양한 광학 속성도 조정이 가능합니다. 기계는 정확한 좌표 단계를 통해 높은 수준의 정확성과 반복성을 유지합니다. 스테이지는 X-Y-Z 동작을 사용하여 웨이퍼와 포토 esist 솔루션을 정확하게 이동합니다. 단계의 정밀도는 균일 한 패턴이 형성되도록 도와줍니다. 이 도구에는 잘 보호 된 제어 장치 (control unit) 가 있으며, 먼지와 습도를 지키도록 설계되었습니다. 이 제품은 운영/환경 상태를 분석하여 최적의 성능을 보장하는 "내장형 (in-built) '안전 자산을 갖추고 있습니다. Clean Track Mark 8 (Clean Track Mark 8) 은 자동화된 작업과 명확한 수동 명령으로 사용 편의성과 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 터치 패널을 사용하여 모델을 빠르고 쉽게 조작합니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 기판에서 매우 정확하고 고해상도 (high-resolution) 패턴을 생성하는 데 매우 효과적입니다. 오염과 입자 수를 최소화할 수 있으며, 이는 포토 esist 물질을 처리 할 때 필수적입니다. TEL Interface for Clean Track Mark 8은 모든 유형의 웨이퍼 표면에서 정확하고 효율적으로 photoresist 패턴을 만드는 안정적인 시스템입니다. 정확도, 속도, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 비용 효율적이고 효율적인 포토리스 처리 장치 (photoresist processing unit) 를 찾는 사람들에게 매력적인 옵션을 제공합니다.
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