판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8 #9409932
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TEL/TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8은 TEL IC Exposure Tool의 최고 수준의 정밀도와 TOKYO ELECTRON 클린 트랙 마크 8의 최고 성능을 결합한 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "기판 '의 범위 에 정밀 한 형태 의 구조 와" 기하학' 을 정확 히 노출 시킬 수 있게 해 주는 통합 솔루션 이다. 이 시스템은 투영 광학, TEL/TOKYO ELECTRON IC 광 장치 및 TEL 청소 트랙 마크 8을 사용하여 기능 패턴을 나노 미터 수준으로 정확하게 노출시킵니다. 도쿄 전자 IC (TOKYO ELECTRON IC) 광학 머신에서 광학과 정밀 이동 시스템의 조합은 나노 미터 수준까지 패턴화하는 데 있어 탁월한 정확성과 해상도를 제공합니다. 이 도구는 투영 광학과 청소 트랙 마크 8을 결합한 단일 노출 도구를 사용합니다. 이 도구를 사용하면 작은 선 형상 (small line geometry) 에서부터 수백 나노미터 (nanometer) 의 크기에 이르는 다양한 크기와 패턴화된 피쳐 유형을 동시에 생성할 수 있습니다. 이 에셋은 다양한 이미지 처리 응용 프로그램 (image processing application) 을 위해 설계되었으며, 고정밀도 패턴 및 구조물의 개발을 위해 광저항 재료를 기판에 코팅 할 수 있습니다. 이미지 처리 알고리즘과 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8의 조합은 단단한 내성을 가진 빠르고 정확한 구조 패턴을 가능하게합니다. TEL Interface for Clean Track Mark 8은 다양한 환경 조건에서 작동 할 수있는 강력한 모델입니다. 이 장비는 먼지 증명 실 (dust proof chamber) 과 같은 다양한 클린 룸 (clean room) 에 사용되도록 설계되었으며, 다양한 대기 조건에서 높은 수준의 정확성을 유지합니다. 이 시스템에는 수많은 진단 및 제어 (diagnostic and control) 시스템이 장착되어 있어 프로세스 주기 동안 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 소프트웨어 제어 장치 (Software Control Unit) 는 반복 가능한 노출, 마스킹 및 치료 프로세스를 매우 정밀하게 수행 할 수 있도록 포함되어 있습니다. 사용자 친화적인 GUI 인터페이스를 통해 원격 (Remote) 모니터링 및 공구 제어를 통해 운영 주기 제어를 강화할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Interface for Clean Track Mark 8은 나노 미터 수준까지 패턴과 구조를 생성 할 수있는 고정밀 포토 esist 기계입니다. TEL IC 노출 도구 (TEL IC Exposure Tool) 와 TOKYO ELECTRON 클린 트랙 마크 8을 조합하면 정확도와 해상도가 높아지고 추가 제어 및 진단 시스템이 생산 프로세스 전반에 걸쳐 반복 가능한 결과를 보장합니다.
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