판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #293661853

TEL/TOKYO ELECTRON CS800S는 포토 esist 장비로, 웨이퍼 레벨 장치의 개발 및 생산을 위해 설계되었습니다. 마스크 작문 및 에칭과 같은 photolithographic 프로세스를 위해 설계되었습니다. TEL CS800S에는 0.25um 피치에 걸쳐 10,000 전압 단계를 쓸 수있는 고해상도 LaserWriter 포토 마스크 라이터가 장착되어 있습니다. 또한 최대 50nm 크기의 패턴을 작성하여 초고해상도 마스크를 위한 고급형 E-beam 마스크 라이터로 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 대용량 이미징 후 검사 장치 (LAS) 가 포함되어 있어 패턴 이미지를 빠르고 정확하게 검사하고 분석할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS-800S에는 자동 조절 가능한 스테이지가 포함되어 있으며, 리소그래피 정확도가 향상되었으며, 자동 초점, 프로그래밍 가능한 스테이지 스플라인 등과 같은 광범위한 기능이 제공됩니다. 또한 CS800S는 마스크의 광학 성능을 측정하기 위해 "SCM (Soft Circuit Monitor)" 을 제공합니다. 또한 SCM은 총 공중 이미지 강도와 가장자리 선명도를 측정하여 포토 마스크 (photomask) 의 결함을 감지 할 수 있습니다. CS-800S 기계를 사용하여 쓸 수있는 최대 패턴 크기는 8 "x 10" 이며, 선 너비는 0.05um까지, 접촉 구멍은 0.12um입니다. 이 도구는 또한 편광 손실이 4 배 감소하여 회로 수율이 높아집니다. TOKYO ELECTRON CS800S 는 위에서 언급한 기능 외에도 자동화된 저항 애플리케이션 (Resist Application), 신속한 노출 (Rapid Exposure), 고급 저항 전열 기능 (Advanced Resist preheating Function) 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 또한, 자동 교정 자산이 장착되어 스테이지 변위 (stage displacement) 및 스테이지 스플라인 (stage spline) 과 같은 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON CS-800S는 고해상도 광석기 공정을 위해 설계된 고가용성 광사 모델입니다. 자동 교정 장비, 고해상도 레이저 라이터 (Laser-writer) 및 이미징 후 검사 시스템 (Post-Imaging Inspection System) 을 사용하여 웨이퍼 레벨 장치의 개발 및 생산에 적합합니다.