판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399459

TEL/TOKYO ELECTRON CS800은 반도체 칩 패턴화를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 (wafer) 수준에서 포토레시스트의 고해상도 패턴을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 메인프레임, 배치 처리 장치, 스핀 프로세서, CDS 모니터로 구성됩니다. 메인프레임 (Mainframe) 은 시스템을 제어하는 데 사용되며 작동하기 쉬운 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있습니다. 또한 다양한 통신 포트 (Communication Port) 를 통해 반도체 제조 공정에 사용되는 다른 시스템과 통합할 수 있습니다. 메인프레임 (Mainframe) 은 프로그래밍 가능한 컨트롤로 구성할 수 있으며 반복적인 작업을 처리하도록 자동화할 수 있습니다. 배치 처리 장치 (Batch Processing Unit) 는 한 주기에 여러 웨이퍼를 빠른 속도로 처리하는 데 사용됩니다. 따라서 처리량이 증가하여 웨이퍼 처리에 필요한 전체 시간이 단축됩니다. 공정 장치 (process unit) 는 스피너 (spinner) 와 함께 사용하도록 설계되었으며 한 번에 최대 5 개의 카세트 웨이퍼를 보관할 수 있습니다. 스핀 프로세서는 패턴 처리 중에 웨이퍼를 회전시키는 데 사용됩니다. 정확한 처리를 위해 고속, 민감한 작동을 위해 설계되었습니다. 스피너에는 자동 스핀들 속도 조정, 슬롯 식 가이드 링 (slotted guide ring), 브레이크 (brake) 와 같은 다양한 동작 및 제어 메커니즘이 장착되어 있습니다. CDS 모니터는 패턴화 프로세스의 진행 상황을 실시간으로 모니터링하는 데 사용됩니다. 이 모니터에는 데이터 획득, 신호, 드리프트 감지, 이미지 비교 등 다양한 기능이 있습니다. CDS 모니터는 최종 웨이퍼 품질 (final wafer quality) 에 영향을 미치기 전에 잠재적 결함 또는 문제를 감지하는 데 사용할 수 있습니다. TEL CS 800 photoresist 도구는 웨이퍼 수준에서 고해상도 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. 메인프레임, 배치 처리 장치, 스핀 프로세서, CDS 모니터 등의 기능을 통해 쉽고 정확한 작동이 가능하므로 반도체 칩 제조업체를 위한 필수품입니다 (영문).