판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399458

ID: 9399458
빈티지: 2002
Coater / Developer system 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS800 (TEL/TOKYO ELECTRON CS800) 은 일련의 프로세스를 사용하여 반도체 칩 및 기타 집적 회로를 생성하는 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 2 단계 화학 공정으로 구성되며, 여기서 1 단계는 photoresist 노출이고 2 단계는 photoresist 층의 개발입니다. 노출 과정은 콘택트 노출 (Contact Exposure) 을 통해 수행되며, 이는 마스크 및 대상 재료 (예: 실리콘 웨이퍼) 에 대한 마스크 정렬 및 노출을 이용합니다. 이 과정 을 통해 광저항 "레이어 '의 부분 이 광자 를 받아들이게 되며, 이것 은 염기 재료 를 변경 시키는 원인 이 된다. 그런 다음, 표적 물질 을 개발 단계 로 옮겨, 호환 하는 화학 물질 을 이용 하여 표적 물질 에 노출 된 광자 들 과 반응 시킨다. "깨어라!" 이것 은 화학 물질 이 "포토레지스트 '층 내 에서 원하는 부위 를 제거 하기 때문 에" 패턴' 을 만들 수 있게 해준다. 이 기능을 사용하면 사용자가 설정한 사양에 따라 패턴을 설계 (design) 할 수 있습니다. TEL CS 800은 질소, 공기 및 산소를 사용하여 기계 내 환경을 제어합니다. 이렇게 특수 하게 설계 된 환경 은 섬세 한 재료 를 처리 할 때 더욱 정확 해진다. 다른 과정에서, 단위는 또한 최적 온도 (optimal temperature) 에서 작동하여 장치에 필름이 형성되는 것을 방지합니다. 또한, TOKYO ELECTRON CS-800은 특수 램프를 사용하여 노출 과정에 필요한 광자를 제공합니다. "램프 '는 고도 로 전문화 되어 있으며" 디자이너' 가 만든 요구 조건 에 따라 조정 할 수 있다. TEL CS800 은 완벽한 최첨단 포토레지스트 (photoresist) 머신으로 매우 정확하고 안정적인 프로세스를 제공합니다. 이 도구는 노출 단계 (Exposure Stage) 와 개발 단계 (Development Stage) 를 모두 활용하여 포토레시스트 응용 프로그램에서 높은 수준의 품질을 보장합니다. 또한, 질소, 공기 및 산소 환경으로, 공정에 대한 훨씬 더 높은 수준의 정밀도를 허용합니다. 전문화 된 램프 (lamp) 는 또한 훨씬 높은 수준의 반사로 노출 과정이 매우 정확한지 확인합니다. 이 모든 것을 통해 매우 효율적이고 안정적인 자산 (asset) 을 얻을 수 있으며, 이를 통해 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다