판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9285706

TEL / TOKYO ELECTRON CS800
ID: 9285706
Coater / Devloper systems Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TEL/TOKYO ELECTRON CS800은 다양한 전자 장치의 제조 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고정밀 박막 코팅 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 고급 처리 단계를 갖추고 있습니다. 특유의 재료 처리 장치 (material handling unit) 를 특징으로하는이 기계는 큰 기판에 퍼져있는 두꺼운 포토레지스트와 얇은 포토레시스트를 모두 처리 할 수 있습니다. TEL CS 800은 재료를 적재 및 언로드하는 동안 기판 정렬이 정확하게 이루어지도록 하는 혁신적인, 자체 정렬 재료 처리 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산은 최소 10 미크론의 두께로 최대 200mm 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, 정확한 포토 esist 레이어 분포를 위해 나노 미터 수준까지 정확한 재료 위치를 지정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS-800에는 마이크로 스프링클러 기술이 통합 된 고급 스프레이 모듈이 장착되어 있습니다. 이 모듈은 1 미크론 미만의 공차를 가진 매우 정확한 photoresist 레이어를 배치 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS-800은 독점 RF 소스를 사용하여 스프레이 프로세스를 구동합니다. 이 RF 소스는 제어 된 포토 esist 레이어 증착을 위해 최대 4.4kW의 조절 가능한 전력 출력을 생성합니다. 이 모델은 또한 저열 전도성 탄소 나노 도트 (Nanodots) 및 기타 고급 재료를 정확하게 전달 할 수있는 고급 노즐 분사 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 쉽게 설치하고 작동할 수 있도록 설계되었으며, 기존 코팅 설비와 통합될 수 있습니다. CS-800 은 고성능, 효율성, 다용도 장치로, 박막 코팅 프로세스를 보다 쉽고 정확하게 수행할 수 있습니다. 이 제품은 정밀한 재료 처리, 증착, 공정 제어를 위한 다양한 정교한 센서 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계는 견고하고, 안정적이며, 안전하며, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. CS800 은 고정밀도 어플리케이션이 필요한 고급 전자 장치 제작에 이상적인 툴입니다.
아직 리뷰가 없습니다