판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9412547

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고정밀 고효율 사진 해설을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체, 광전자 및 디스크 드라이브 제조 산업에 사용하기 위해 고급 생산 원칙을 사용합니다. TEL CS500에는 325mm 필드 스핀 보조 스테퍼 모션 컨트롤이 장착되어 있어 248 ~ 419nm 사이의 파장 범위에서 정확하고 빠르게 발전 할 수 있습니다. 이 장치에는 특수 NIR 구동 셔터가 포함되어 있어 해상도가 높고 프로세스 단계도 줄어 듭니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 VIS/NIR 목표와 UV 목표를 가진 트윈 렌즈 디자인을 사용합니다. UV 목표는 탄소 섬유 보정 및 유리 섬유 보정입니다. 기계의 렌즈는 고성능 이미징을 보장하기 위해 총 숫자 조리개가 0.90 (NA) 입니다. TOKYO ELECTRON CS500 (TOKYO ELECTRON CS500) 은 비주얼 램프를 사용하여 최소 크기 (small minimum feature size) 에서도 마스크 패턴을 자동으로 인식하여 수동 조정의 필요성을 크게 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500은 Dual-Track Flatness Measurement Tool 및 side-by-side scatterometry의 도움을 받아 프로세스 중에 결과를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. CS500은 또한 새로운 강화 폴라라이저 (Hardened Polarizer) 를 갖추고 있어 극한의 작동 조건에서 이미징 또는 조명 방향을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이것은 편광 요소의 성능 손실을 감소시켜 균일성 (unifority) 과 플레어 억제 (suppression) 를 향상시킵니다. TEL CS 500은 닫힌 루프 단계에 정확한 모션 컨트롤을 통합합니다. 이 스테이지에는 대상 스캐닝에 대한 완벽하고 정확한 피드백을 제공하는 고해상도 포지션 센서 (Position Sensor) 가 있습니다. 이는 위치 정확도를 높일 뿐만 아니라, 처리량 및 프로세스 성능도 향상시킵니다. 이 자산에는 사용자 친화적 인 HMI (Human Machine Interface) 가 장착되어 있어 프로세스를 쉽게 운영하고 사용자 정의할 수 있습니다. HMI 는 또한 데이터 로깅 (data logging) 모델을 갖추고 있어, 안전하고 추적 가능한 데이터 추적 및 프로세스 결과 검색 기능을 제공합니다. CS 500 은 정확하고 반복 가능한 포토레시스트 (photoresist) 결과를 제공하여 이미징 수익률 손실 감소, 프로세스 안정성 향상, 처리량 향상, 보다 효과적인 고객 서비스 만족도를 제공합니다. 이 장비는 고급 이미징 (advanced imaging) 과 공정 (process) 기술의 조합으로, 정밀 반도체 제조에 이상적인 선택입니다.