판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9411463

텔/도쿄 전자 CS500 (TEL/TOKYO ELECTRON CS500) 은 광원을 사용하여 반도체 장치 제작 과정에서 광저항 물질을 선택적으로 제거하는 포토 esist 장비입니다. 파장 365nm의 고해상도 자외선을 사용합니다. 광원은 고정밀 제어 시스템 (High-Precision Control System) 과 코팅 메커니즘과 결합되어 광 소시스트가 균일 한 두께로 적용되도록 합니다. 광원은 포토 esist 필름을 밝히고, 그 후 자외선에 노출된다. 자외선 은 "이미지 '를 광원 에서 광사" 필름' 으로 옮긴다. 포토리스 스트 필름 (photoresist film) 이 노출됨에 따라 노출되지 않은 영역이 그대로 유지되는 동안 노출 된 영역이 선택적으로 제거됩니다. TEL CS500 (TEL CS500) 에는 photoresist 필름에서 패턴을 정확하게 정렬 할 수있는 패턴 정렬 기능도 있습니다. 정확한 위치 지정 장치를 통해 TOKYO ELECTRON CS 500은 광원을 포토 esist 필름의 적절한 영역으로 정확하게 지시 할 수 있습니다. 이 정렬 기능을 사용하면 하위 미크론 정확도로 정확한 패턴 배치가 가능합니다. CS500은 또한 큐링 머신 (curing machine) 을 통합하여 포토 esist 물질과 기본 기판 사이의 균일 한 크로스 링크를 제공합니다. 이 크로스 링크 (cross-linking) 를 통해 photoresist는 장치 제작 프로세스 전체에서 그대로 유지되며, 모든 패턴 작업을 안정적이고 재생성적으로 photoresist 필름에서 기본 기판으로 옮길 수 있습니다. TEL CS 500은 정확한 광원과 고급 정렬 기능을 결합함으로써, 최소한의 왜곡 및 오염으로 포토 esist 물질을 정확하고 안정적으로 제거 할 수 있습니다. 이를 통해 TEL은 뛰어난 성능으로 고정밀 장치를 생산할 수 있습니다. 또한, 정렬 기능, 치료 도구 및 전체 자산 설계는 TEL/TOKYO ELECTRON CS 500을 다양한 반도체 장치 제작 프로세스에 이상적인 선택으로 만듭니다.