판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301977

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 석판 처리 용 포토 esist 장비입니다. MEMS, 고급 집적 회로, 3D 패키징 및 유기 발광 다이오드 (OLED) 와 같은 고정밀 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 컨베이어와 멀티 존 (multi-zone) 완전 디지털 조명을 결합하여 빠르고 정확한 작동을 구현합니다. TEL CS500은 전동 단계 (Motorized Stage) 와 최첨단 검출기 (State-of-Art Detector) 를 특징으로하며 마이크로 라디안 이하의 정확도로 온도 변화를 측정 할 수 있습니다. 이 장치의 디지털 X-Y 선형 단계는 마이크로미터 이하의 정확도까지 높은 단계 안정성, 반복 가능성 및 균일 한 정밀도를 제공합니다. TOKYO ELECTRON CS 500에는 고품질 전동 광학 기계, 고품질 정밀 다지대 조명 도구, 신호 샘플링 및 제어 시스템 (CS) 이 장착되어 있어 정확한 포토리스 연주자 처리를 위한 탁월한 환경을 제공합니다. 전동식 광학 (Motorized Optics) 을 사용하면 에셋을 설정할 때 광학 포커싱 및 정렬을 미세하게 조정할 수 있습니다. 다중 영역 조명 (multi-zone illumination) 은 조명 영역의 크기와 위치를 정확하게 조작 할 수 있으며, 따라서 기판에서 광저항 (photoresist) 의 정확한 범위를 보장합니다. 또한, 신호 샘플링 및 제어 시스템은 노출 용량 (exposure dose) 및 노출 시간 (exposure time) 을 정확하게 제어합니다. 따라서, TOKYO ELECTRON CS500은 매우 복잡하고 정확한 포토 esist 연산에 사용될 수있다. 또한, 이 모델은 매우 자동화되어 있으며 최소한의 운영자 개입이 필요합니다. 자동화된 컨베이어 (conveyor) 장비는 운영자가 기판을 공급할 필요가 없습니다. 기판 크기와 기판 배치를 자동으로 측정하도록 시스템을 구성할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 자동화된 프로세스 모니터 (Process Monitor) 와 최적화 머신 (Optimization Machine) 을 제공하여 효율적인 포토레지스트 처리를 위해 프로세스 매개변수를 조정하고 신속하게 개선 할 수 있습니다. CS500은 고정밀도 응용 프로그램에서 포토레지스트 처리를 위한 탁월한 선택입니다. 즉, 운영 및 프로토타입에 모두 적합한 자동화된 프로세스 환경 (Automated Process Environment) 을 제공하여 고품질의 결과를 신속하게 얻을 수 있습니다. 응용 프로그램 요구에 맞게 설정을 사용자 정의하는 유연성과 결합된 반복 가능하고 신뢰할 수있는 작동을 통해, TEL CS 500은 반도체, MEMS, OLED 등의 업종에 이상적인 솔루션으로, 고도의 정밀 석판화 처리가 필요한 모든 솔루션이 됩니다.