판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301072

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 전자 장치의 고급 미세 구조 조정을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 전자식 (electronic) 구조의 작은 기능을 정확하고 정확하게 인쇄하기 위해 설계된 완전 자동화 (fully automated) 시스템이다. TEL CS500은 3mm 정도의 작은 기판에서 다중 레벨 인쇄를 허용하며, 대부분의 기판 방향을 다룰 수 있습니다. 이 장치는 CCD (High Resolution Charge Coupled Device) 카메라 및 레이저 다이오드 (Laser Diode) 와 같은 이미징 및 광학 부품을 통합하여 정렬 및 초점 제어를 통해 탁월한 정확도로 서브미크론 기능의 인쇄를 최적화합니다. 카메라는 또한 단일 필름 또는 기판 표면에서 칩-칩 (chip-to-chip) 분산을 급격히 줄이는 데 도움이됩니다. 도쿄 전자 CS 500 (TOKYO ELECTRON CS 500) 에는 이미지 포지셔닝을 위해 기판의 정확한 정렬을 얻기 위해 높은 위치 지정 및 회전 정확도를 제공하는 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 고해상도 (high resolution) 와 자동 인덱서 (automated indexer) 를 사용하여 X 방향과 Y 방향 모두에서 정렬할 수 있습니다. 효과적인 인쇄 프로세스를 위해, TEL CS 500은 편집, 채널 선택, 해상도 설정을 위해 고정밀도, 직관적, 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스와 통합됩니다. 또한, 기계는 패턴 생성을위한 고급 매개변수 커스터마이징을 제공하여 복잡한 패턴의 정확한 몰딩을 용이하게합니다. 또한 3D 기능을 형성 할 수있는 '패스 스루 (pass-through)' 기능이 포함되어 있으며, 가장 정확한 이미지 만 기판 또는 필름에 전송되도록 지능형 레티클 제어 메커니즘이 포함되어 있습니다. CS 500 은 1 차/2 차 이미지를 매우 낮은 수준의 잔류 중복으로 캡처하는 고급 스캐닝 알고리즘을 사용합니다. 이렇게 하면 인쇄된 피쳐의 가장자리 거칠기가 최소화되고 등록 정확도가 향상됩니다. 이 도구에는 고급 온도 조절 (temperature control) 기술이 포함되어 있어 뛰어난 균일성을 위해 일관된 인쇄 온도를 보장합니다. 또한 CS500 은 단일 플랫폼에서 코팅 저항을위한 디스펜스 (dispense) 및 스프레이 (spray) 기술을 모두 통합하여 최적의 생산성을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500은 에너지 효율적이며, 전원 장애 또는 기타 오작동의 경우 긴급 종료 자산도 포함합니다. 이 모델은 또한 소형의 물리적 설계를 통해 공간 요구량을 최소화하고, 환경 선택의 폭을 유연하게 만들 수 있습니다 (영문).