판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9293647
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ID: 9293647
빈티지: 1997
Coater / (2) Developer system
For LCD flat panel display manufacture
Track runs Gen 2 (370 mm x 470 mm) panels
Handle (4) cassettes
(3) Robots and transfer stations
SCR / (4) Cools / (7) L Ovens / HMDS
Glass substrate:
Min: 300 mm x 400 mm
Max: 400 mm x 500 mm
Module includes:
(7) Hot plates
(4) Chill plates
HMDS Vapor prime
Megasonic scrubber
Edge bead remover
Specification:
Main controller: NEC 98" Series
Loader / Unloader: (4) Uni-cassettes
(4) Spin coater heads (Coater / (2) Developer / SCR)
Coater unit specification:
Function for one coater head:
Coater cup: Standard cup
Photo resist line: (2) Nozzles
Back side rinse
RRC Fuction
P/R Drain:
Local drain 10L tank
Drain tank with pump
P/R Supply allocation: Bottle / Nozzle
Standard function:
Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
Solvent supply:
(5) Gal canisters
(2) Tanks auto change (Local supply)
DEV Unit specification:
Function for developer unit:
DEV Cup: TEL Standard cup
DEV Line: Nozzle for etch unit
Back side rinse
Top rinse function
EV Drain: Facility drain
DEV Supply allocation: Supply from facility with 200 liter tank
CS500 Standard function cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
SCR Unit specification:
Function for SCR unit:
SCR Cup: Standard cup
Dl Line: Nozzle for etch unit with mega-sonic
Back side rinse
Top rinse function
D.I Drain: Facility drain
CS500 Standard function: Cup exhaust flow monitor with interlock
Dummy dispense control panel
Chemical flow detection with flow meter sensor
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 장비는 반도체, 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품의 제조에 사용되는 고급 광 전자 시스템입니다. 기존 제조 공구와 원활하게 연결되도록 설계되었으며, 가장 비용 효율적인 포토레지스트 (photoresist) 시스템 중 하나입니다. TEL/TOKYO ELECTORN TEL CS500의 핵심에는 고효율 중형 챔버 장치가 있습니다. 하이엔드, 중간 크기 챔버 머신 (Medium-size Chamber Machine) 을 사용하면 일관된 수준의 성능으로 작동하고 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 전체 프로세스에 걸쳐 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 다양한 기술을 사용하여 Optical Lithography, Electrochemical Copying 및 Wet Etch Processing을 포함한 단계 및 반복 프로세스의 최고 정확성을 보장합니다. 이 수준의 정확성은 높은 수율로 신뢰할 수있는 마이크로 서킷을 만들 때 필수적입니다. 또한 이 도구는 고정밀도, 그림자 없는 노출을 수행할 수 있습니다. 완료 (finished) 제품이 소스 패턴의 완벽하게 정확한 복제본인지 확인하기 위해 그림자 없는 (shadowless) 노출이 가장 중요합니다. CS 500 은 복잡한 프로세스 및 박막 처리를 위해 설계된 프로그램과 더불어 광채도 (light saturation) 를 더욱 통제하기 위해 특수 광학 부품의 사용을 구현합니다. 전체 프로세스는 주 처리 콘솔 (main processing console) 에서 제어되며, 하드웨어 근처에 있으며 운영자에 필요한 모든 프로세스 제어 (process control) 가 포함됩니다. 즉, 다운타임을 최소화하고 운영 수준을 높일 수 있도록 빠르고 쉽게 설정할 수 있기 때문에, 이 자산은 사용자에게 적합합니다. CS500은 매우 안정적이고 효율적인 포토리스 (photoresist) 모델로, 최고 품질의 마이크로 서킷을 제조하는 데 적합합니다. 광범위한 프로세스 (process) 기능을 제공하여 모든 고정밀 (high-precision) 제작 프로젝트에 이상적인 솔루션입니다.
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