판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269765

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고해상도 photolithography 및 dry etch 프로세스를 모두 수행 할 수있는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 서브 마이크로 미터 (sub-micrometer) 형상의 정확한 패턴을 제공하도록 설계되었으며, 이어서 통합 마이크로 전자 장치 생성에 사용됩니다. 이 장치에는 평면 화 (planarizing) 와 패턴 (patterning) 모두를위한 이동식 정전기 척이있는 챔버가 있습니다. 기계 안 에는 "레지스트 '재료 와 특수 기판 으로 구성 된" 블록' 이 있다. 정전기 척은 블록을 부상시키고 속도와 위치 모두에서 웨이퍼를 정확하게 제어합니다. 리소그래피 프로세스를 수행하기 위해 TEL CS500은 KrF 또는 ArF 엑시머 레이저 (excimer laser) 와 같은 고급 고해상도 광원을 사용합니다. 이것은 마스킹 또는 내장된 포토마스크 (photomask) 를 통해 저항에 투영 이미지를 만드는 데 사용됩니다. 이 과정에서 UV 방사선 (radiation) 은 저항과 상호 작용하여 마스크 구조에 따라 응답하는 이미지를 생성합니다. 리소그래피 단계 후, 공구는 건식 에치 응용 프로그램에 동적 백사이드 바이어스 생성기를 사용합니다. 이 기능은 전원 공급 장치를 사용하여 음전하를 띤 제곱파 (square-wave) 바이어스를 생성합니다. 이 바이어스는 웨이퍼의 다양한 지점에서 적용됩니다. 이 편견으로, 자산은 패턴을 저항 물질로 가져올 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON CS 500은 온도 조절 환경을 가지고 있으므로 다른 온도에서 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 원하는 패턴화 결과를 얻기 위해 장치의 해상도를 최적화할 수 있습니다. TEL CS 500은 고해상도 리소그래피 (lithography) 및 에치 (etch) 기능 외에도 장치 구조의 즉석 모니터링이 가능한 인라인 검사 툴을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 프로세스를 즉시 조정하여 보다 정확한 장치를 만들 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델에는 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 가 장착되어 있어 모든 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 전체 프로세스가 보다 부드럽고 효율적으로 처리됩니다. 따라서 CS500은 고급 사진 분석 및 드라이 에칭 프로세스 요구를위한 강력한 도구입니다.