판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269757

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 최첨단 기술을 활용하면서 수율을 최대화하도록 설계된 포토 esist 애싱 장비입니다. 이 "시스템 '은 반도체 소자 제조 에서 중요 한 단계 인" 포토레시스트' 처리 에 사용 되도록 설계 되었다. TEL CS500은 원격 플라즈마 소스를 사용하여 포토 esist를 높은 정밀도와 정확도로 에치 (etch) 합니다. 이를 통해 연산자는 높은 수준의 제어로 에칭 시간, 전력, 가스 흐름을 정의 할 수 있습니다. 포토레스 애싱 장치 (photoresist ashing unit) 는 열 예산이 낮고 선택률이 높은 빠른 청소를 제공합니다. 이 기계는 한 번에 여러 층의 포토레스트 (photoresist) 를 높은 스루풋으로 에치하는 수단을 제공합니다. 이를 통해 신뢰성이 높은 프로세스, 수익률 증가, 품질 향상을 통해 탁월한 균일성을 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 가장 최적의 방향성 성능을 내기 위해 소스에서 빔의 균일성을 제어하는 데 사용되는 플라즈마 렌즈 (Plasma Lens) ™ (Plasma Lens) 기술과 같은 고급 기능을 활용할 수있는 도구입니다. 고정밀도 펄스 가스 제어, 정제된 인터페이스 (PC 또는 PLC 제어) 및 다차원 이미저 (multi-dimension imager) 와 같은 고급 기능은 처리 작업 로드를 높이고 도구의 기능을 최대한 활용하는 향상된 기능입니다. 도쿄 전자 CS500 (TOKYO ELECTRON CS500) 은 반복 가능한 결과를 제공하고 고객 요구 사항을 충족할 가능성을 높여주는 자산입니다. 이 모델은 에칭 프로세스를 모니터링, 모니터링 및 확인할 수 있는 수단도 제공합니다. 또한 POST (Post Etching Testing) 와 관련된 품질을 향상시키고 비용을 절감할 수 있습니다. 사용하기 쉬운 TEL CS 500 인터페이스는 운영자에게 애싱 (ashing) 프로세스를 효율적으로 간소화할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한, 가스 모니터 (gas monitor), 개방형 챔버 감지 (open chamber detection) 및 과압 보호 (over pressure protection) 와 같은 안전 기능의 통합은 안전하고 신뢰할 수있는 작업 환경을 제공합니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS 500은 높은 수준의 제어, 빠른 청소, 높은 선택률을 가진 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 애싱 (ashing) 장비입니다. CS 500 은 뛰어난 기능과 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 포토리스 처리 (photoresist processing) 의 생산량 및 품질을 향상시킬 수 있습니다.