판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269756

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269756
System HITACHI LE-4000A Mask cleaner Tank Heating system.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고급 포토 esist 처리 장비입니다. 반도체 업계에서 사진 (photolithography) 응용 분야에 널리 사용되어 다양한 복잡한 구조와 중요한 구성 요소를 제조 할 수 있습니다. 이 "시스템 '의 주된 목적 은 광원 에서 나온 빛 을 이용 하여" 패턴' 을 기판 재료 나 "포토레지스트 '로 옮기는 것 이다. 그것 은 "기질 '을 미리 정해진 빛 의 강도 에 노출 시킴 으로써 작용 하며, 이것 은" 레지스트' 에서 화학 반응 을 일으키고 "패턴 '작용 을 시작 한다. 패턴을 정확하게 전송하기 위해 TEL CS500에는 고정밀도, 조절식 레이저 빔 정렬 장치 (Laser Beam Alignment Unit) 가 장착되어 있습니다. 또한 기계 (machine) 를 통합하여 패턴의 정확한 치수와 모서리를 측정합니다. 이를 통해 가능한 가장 정확한 패턴 정의를 사용할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 전용 사용자 인터페이스를 통해 완전히 자동화된 패턴화 기능도 제공합니다. 이 방법 은 세부적 이고 복잡 한 "패턴 '과" 포토레지스트' 를 만들어 내려고 하는 사람 들 에게 편리 한 해결책 을 제공 해 주는데, 그렇게 하기 가 쉽지 않을 것 이다. 이 도구는 광범위한 저항 재료를 수용하며, 마이크로 리토 그래피, 박막 증착, 웨이퍼 결합과 같은 영역에 적용 할 수 있습니다. 또한, 이 자산에는 보정 기능이 내장되어 있어 저항층 두께 (resist layer thickness) 와 패턴 크기 (pattern size) 의 정확한 측정이 보장됩니다. 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 패턴을 보장하는 고성능, 에너지 효율적인 모터로 구동됩니다. 또한, 사전 구성된 하드웨어 모델은 지정된 시간에 중단되지 않은 작동을 보장합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON CS500은 신뢰할 수 있고 혁신적이며 고급 포토 esist 처리 장비입니다. 조정 가능한 레이저 빔 정렬 (Adjustable Laser Beam Alignment) 및 내장 교정 기능과 결합된 자동 패턴 (Automated Patterning) 기능은 다양한 기판 재료에서 복잡한 패턴과 포토레시스트를 만드는 편리하고 정확하며 효율적인 방법을 제공합니다.
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