판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269726

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 반도체 리소그래피에 사용되는 고급 포토 esist 시스템입니다. 다양한 리소그래피 레시피에 포토레시스트를 정확하게 노출 할 수있는 고정밀 시스템입니다 (영문). TEL CS500은 자동 노출 제어 (Automatic Exposure Control) 및 강력한 초점 제어 도구를 포함하여 포토리스 처리 기능을 쉽게 만들 수있는 다양한 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 싱글 레이어 (single layer) 및 멀티 레이어 저항 제제 (multi-layer resist formulation) 를 포함한 다양한 유형의 포토 esist를 수용하도록 설계되었습니다. 최대 450mm x 450mm의 노출 면적을 가진 단일 레이어 및 멀티 레이어 포토 esist 필름에 패턴을 노출 할 수 있습니다. CS500에는 최대 0.5 미크론 회선 너비를 지원할 수 있는 고속 스캔 기능이 있습니다. 이것은 고급 photolithography 응용 프로그램에서 초단계 구조를 패턴화하는 데 적합합니다. CS 500 은 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 온도 조절 환경, 다양한 안전 기능 등 다양한 기능을 제공합니다. 노출 컨트롤러 (Exposure Controller) 는 최적의 패턴 노출이 가능하도록 노출 설정의 실시간 피드백을 제공합니다. 또한 TEL CS 500에는 내성 (in-situ) 필름 두께와 내성 노출 프로파일을 측정 할 수있는 내장 방사선 도량형 구성 요소가 장착되어 있습니다. 도쿄 전자 CS500 (TOKYO ELECTRON CS500) 은 정확성과 안정성을 결합하여 뛰어난 처리 결과와 사용자에게 우아한 경험을 제공합니다. 높은 수율과 반복 가능한 공정 결과를 제공하면서 폐기물을 줄이도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 (TEL/TOKYO ELECTRON CS 500) 은 정확성과 정밀도로 다른 특징 크기의 패턴을 노출시키는 능력으로 반도체 산업의 다양한 산업 및 연구 용도에 이상적입니다. 다양한 기능과 강력한 성능으로 인해 photoresist 처리에 이상적인 시스템이되었습니다.