판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269725

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 대용량 마이크로 일렉트로닉 및 광전자 생산의 다양한 요구를 충족시키기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 첨단 이미징 (imaging) 과 노출 (exposure) 기술을 활용하여 고급 반도체 장치를 위한 탁월한 성능을 제공합니다. 이 시스템은 광학 박막 (optical thin film) 에서 전자 빔 (electron beam) 및 X- 선 저항 (X-ray resist) 에 이르는 다양한 포토 esist 물질의 사진 해설에 적합합니다. TEL CS500 은 다양한 하드웨어/소프트웨어 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 노출 필드를 정확하게 정의하고, 최적의 성능을 위해 웨이퍼에 초점을 맞출 수 있습니다. 고급 고해상도 패턴 생성기 (High Resolution pattern generator) 를 통해 뛰어난 기하학적 충실도, 모서리 선명도, 초점 깊이, 그리고 레티클 에러를 낮추는 정렬 카메라가 있습니다. 또한, 소프트웨어의 기본 노출 데이터베이스 (BIST) 를 사용하면 데이터 입력 없이 이전에 사용한 노출 설정을 신속하게 호출할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500에는 실제 장치 사용을 최적화하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 유지 보수 (maintenance) 무료, 50kV 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있어 가장자리 선명도를 유지하기 위해 웨이퍼 위치를 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 또한, 고급 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 기능을 통해 여러 웨이퍼를 한 번에 로드하고 언로드하여 주기 시간을 크게 줄일 수 있습니다. TEL CS 500 의 고급 소프트웨어 및 하드웨어 기능은 안정성이 높은 성능을 보장하며, 일관된 수율을 보장합니다. 온보드 (on-board) 마스크 없는 광석기 (photolithographic) 기능을 활용함으로써, 최고 수준의 생산성을 요구하는 대용량 생산 환경에 이상적입니다. 또한, 기계의 본질적인 유연성을 통해 변화하는 생산 기술 (예: 광원 변화) 에 빠르게 적응할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500은 사용자에게 탁월한 성능과 안정성을 제공하는 최첨단 포토 esist 툴입니다. 첨단 이미지 처리 및 노출 기술 (Advanced Imaging and Exposure Technologies) 을 통해 오늘날의 까다로운 운영 환경 요구 사항을 손쉽게 충족할 수 있습니다.