판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269724
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TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 반도체 처리 및 제작에 사용되는 '포토 esist' 장비입니다. 이 시스템은 photolithography를 사용하여 웨이퍼 표면에 복잡한 패턴을 만듭니다. 반도체 (반도체) 소자 제조에서 중요한 단계이며, 다양한 집적회로 (integrated circuit) 의 생산에 중요한 역할을합니다. 가장 간단하게도, 이 단위는 웨이퍼 표면에 특정 패턴을 만들기 위해 광원에 포토리스 스트 코팅 된 웨이퍼 (photoresist-coated wafer) 를 노출시킵니다. TEL CS500 기계에는 고강도 레이저, UV 램프, 스테퍼 타입 조명기 등 다양한 노출 소스가 장착되어 있습니다. 또한 빔 (beam) 패턴을 기울이거나, 회전하거나, 수정하여 원하는 패턴을 생성할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500의 노출 소스는 짧은 파장광을 생성하여 포토 esist 패턴의 해상도를 증가시킵니다. 또한, 엔지니어가 노출 수준을 제어, 조작 및 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이는 장치 제조에서 높은 정확성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500에는 매우 정확한 스테이지 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 각 노출 중에 웨이퍼가 동일한 위치에 있는지 확인합니다. 이것은 결함을 복구하고 반복 가능한 패턴을 만드는 데 필요합니다. TEL CS 500 모델은 시장에서 가장 고급 시스템 중 하나입니다. 고품질 조명원 (Limumination Source), 정밀 단계 장비 (Precise Stage Equips), 사용이 간편한 소프트웨어 (Software) 의 조합으로 다양한 정밀도로 높은 정확도를 낼 수 있습니다.
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