판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269721

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 완전 자동화된 시스템으로, 패턴화 (patterning), 어닐링 (annealing), 에칭 (etching), 증착 (deposition) 과 같은 다양한 반도체 처리 응용 프로그램을 수행하는 데 사용할 수 있습니다. TEL CS500은 사진 해설에 저항성 마스크 장치를 사용하는 ARCVD (Atmospheric Relation, Chemical, Vapor Deposition) 기계입니다. "트랜지스터 '나 IC 와 같은 활동적 인 반도체 장치 의 생성 을 위한 기초 를 이루는 매우 얇은" 포토레지스트' 층 을 만들 수 있다. 이 기계는 0.1 초m 해상도의 고해상도 환경과 10,000 웨이퍼/시간의 단일 다이 레이트 (die rate) 를 가진 고해상도 환경에서 작동 할 수 있습니다. 기계는 한 번에 100/웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이로 인해 자동화 (automation) 로 인해 디바이스 수율이 높아집니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 또한 ISPS (In-Situ Purging Tool) 를 통해 최대의 프로세스 안정성과 반복 성을 보장하도록 설계되었습니다. 이 자산은 온도 (temperature) 와 압력 (pressure stable) 환경을 갖춘 프리미엄 프로세스 가스 (premixed process gase) 의 이중 흐름을 제공하여 정확한 반도체 장치 제조에 중요합니다. CS 500 모델에는 최적의 프로세스 제형 및 제어를 위해 설계된 완전 통합 코터/개발자 장치가 포함되어 있습니다. 에지-에지 (edge-to-edge) 의 전체 웨이퍼를 균일성과 더 큰 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 또한 MEMS, PCB, LED, 바이오 센서 및 광학 부품의 제작을 포함하여 다양한 응용 프로그램에서 사용하도록 설계되었습니다 (이에 국한되지 않음). 이 시스템은 고객의 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 추가 프로세스 (process) 솔루션으로 맞춤 구성할 수도 있습니다. 결국, CS500 은 강력하고 신뢰할 수 있는 포토레시스트 (photoresist) 장치로서, 사용자에게 반도체 장치 처리 어플리케이션을 위한 고급 기능을 제공합니다. ISPS (In-Situ Purging Machine), 코터/개발자 장치, 고해상도 및 처리량과 같은 고급 기능으로, 고급 반도체 장치 제조에 이상적인 선택입니다.