판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269720

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고급 반도체 장치 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 반도체 제작자의 요구에 맞게 조정되었으며, 종합적인 전자기 석판 시스템을 제공합니다. 이 장치는 8 인치 및 12 인치 웨이퍼를 포함한 다양한 기판을 수용 할 수 있으며, 고해상도 스테퍼/스캐너 머신을 갖추고 있습니다. 또한 최대 18 인치 웨이퍼까지 이중 패널을 수용 할 수 있습니다. 스테퍼/스캐너 도구는 최대 0.08 m의 해상도로 고해상도 이미지를 생성 할 수 있습니다. 에셋은 포토리스 (photoresist) 프로세스 동안 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 여러 가지 기능을 제공합니다. 여기에는 완전 폐쇄 및 자동 스캐너 카세트 로딩 모델, 온축 웨이퍼 정렬 모듈, 고속 웨이퍼 처리 장비가 포함됩니다. 이 시스템에는 온도 조절 (Temperature Control) 및 열 균일성 (Thermal Uniformity) 을 지원하는 고급 핫 척 히터 (Hot chuck Heater) 와 프로세스 설정 및 관리 용이성을 위해 고도로 통합 된 제어 아키텍처가 포함되어 있습니다. 광학 장치는 고출력 조명기, 고급 위상 격자 (advanced phase grating), 필드 커플러 (field coupler) 등 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 특히 조명 도구 (Lightimination Tool) 는 광도가 높아 초점 깊이가 좋은 높은 정밀 패턴 인쇄가 가능합니다. 에셋은 광범위한 기판 및 포토 esist 재료를 처리 할 수 있습니다. 표준 i-line 및 KrF 리소그래피 시스템과 호환되며 CVD (chemical-vapor-deposited) 저항 코팅 모델이 장착되어 있습니다. 저항 코팅 공정의 일환으로, 장비에는 측면 벽 제어 (side wall control) 가 포함되며, 이는 정확한 패턴화에 필요한 중요한 단계입니다. 또한 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 통해 프로세스의 각 단계를 쉽게 관리하고 추적할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 단순하고, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스로 매개변수를 설정, 처리, 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, TEL CS500 포토 esist 장치는 고급 반도체 장치 프로세스를위한 고급 및 다용도 도구입니다. 고해상도 스테퍼/스캐너 머신 (stepper/scanner machine), 고급 조명 (advanced illumination), CVD (CVD) 저항 코팅 및 종합적이고 사용자 친화적 인 소프트웨어를 통해 포토리스 처리 시 정확성과 신뢰성을 찾는 제작자에게 탁월한 선택이 가능합니다.