판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269718

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고급 반도체 및 마이크로 전자 장치 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 실리콘 웨이퍼, 쿼츠 웨이퍼, OLED 기판, 여러 금속 등 다양한 기판에서 포토 esist 레이어를 에칭 및 스트립할 수 있습니다. TEL CS500의 고급 패턴화 기능 (patterning capability) 을 통해 photoresist 활용도를 극대화하여 프로세스를 더욱 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 도쿄 전자 CS 500 (TOKYO ELECTRON CS 500) 은 0.35 마이크로미터의 소형 이미징 기능이 가능한 고해상도 이미징 시스템을 갖추고 있어 회로 기능에 대한 정확한 반복성을 제공합니다. 광학 장치 (optical unit) 는 또한 굴절률이 낮으며, 이는 회절을 줄이고 더 높은 에너지 복사를 전송 할 수 있음을 의미합니다. 이것 은 기계 의 해상도 가 높고 처리량 이 높아져서, 보다 빠르고 정확 한 "에칭 '의 회로 가 된다. CS 500에는 고효율의 전자 후 승수 검출기가 장착되어 있어 포토 esist의 신호 대 잡음 비율을 최대화 할 수 있습니다. 또한 고감도 광대역 이산화탄소 (CO2) 레이저 전달 도구를 사용하여 전압 작동이 적고 고에너지 방사선 하에서 스퍼터링을 크게 줄일 수 있습니다. 전달 자산은 또한 플랫 필드 에너지 검출기 (flat-field energy detector) 를 특징으로하며, 넓은 지역에서 정확한 처리가 가능합니다. TEL CS 500은 또한 특수 챔버 (chamber) 설계를 특징으로하며, 저온 환경을 유지하면서 에치 프로세스의 접촉 시간을 줄입니다. 이를 통해 처리 시간이 단축되고 필름 안정성이 향상됩니다. 또한 CS500 에는 웨이퍼 (wafer) 와 챔버 (chamber) 간의 교차 오염을 방지하여 오염 수준을 줄이는 독특한 분할 챔버 구성이 포함되어 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON CS500에는 빠른 설치 및 손쉬운 작동이 가능한 고급 제어 프로그램이 포함되어 있습니다. 제어 프로그램 (Control Program) 은 사용자가 즉석에서 처리 매개변수를 조정할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스는 처리 중인 기판에 맞게 최적화됩니다. 또한 에칭 정밀도 (etching precision) 에서 최고의 껍질 온도 및 챔버 압력 (chamber pressure) 을 원격으로 제어 할 수 있습니다.