판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269714

텔/도쿄 전자 CS500 (TEL/TOKYO ELECTRON CS500) 은 반도체 제조에 사용하기 위해 저항성 기판을 처리하도록 설계된 자동 포토 esist 코팅 장비입니다. TEL CS500은 기판을 360도 적용 할 수있는 단일 축 단계를 기반으로합니다. 즉, 시스템 전원을 켜고 끄면 빠르고 정확한 저항 (Resist) 로딩이 가능하므로 애플리케이션 프로세스가 매우 효율적입니다. TOKYO ELECTRON CS 500 수지 는 주사기 "펌프 '로 공급 되어" 코우팅' 용액 을 정확 하고 정확 하게 제어 할 수 있다. 그런 다음 펌프를 사용하여 '트랙 후속 (track-follow)' 모드에서 레지스트 솔루션을 전체 웨이퍼에 적용하고 퍼뜨립니다. 이것은 기판 전체에서 저항의 균일하고 일관된 범위를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON CS 500에는 여러 가지 작동 모드가 있습니다. 여기에는 자가 보정 (self-calibration) 모드가 포함되며, 이를 통해 사용자는 코팅 전에 저항의 균일성과 적용 범위를 확인할 수 있으므로 매개변수 설정 (parameter setup) 또는 보정 (calibration) 오류를 쉽게 확인할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 온도 조절 기계도 있습니다. 이는 전체 프로세스 전반에 걸쳐 온도가 일관되게 유지되므로, 저항의 정확하고 일관된 적용을 보장합니다. TOKYO ELECTRON CS500에는 장애 감지 도구도 내장되어 있습니다. 이렇게 하면 저항 (resist) 이 분배되기 전에 사용자에게 모든 문제를 경고할 수 있으며, 필요한 경우 더 빠른 수정 조치를 취할 수 있습니다. CS500 은 음수 (negative) 에서 양수 (positive), 낮은 점도 (high viscosity) 에 이르기까지 다양한 저항과 호환됩니다. 이를 통해 소규모 또는 대규모 생산에 대한 저항의 신속한 전환이 가능합니다. 마지막으로, CS 500 은 또한 컴퓨터 네트워크 (Network of Computer) 에 쉽게 연결할 수 있으며, 이를 통해 자산의 원격 제어 및 작동이 가능합니다. 대규모 운영 환경에 유용하며, 모든 매개변수의 원격 감독 및 조정을 지원합니다. 전반적으로, TEL CS 500은 최소한의 수동 개입으로 기판에 걸쳐 저항층을 균일하고 일관되게 분배하도록 설계된 자동 포토리스 (photoresist) 코팅 모델입니다. 자동 (automated) 기능과 다양한 저항과의 호환성을 통해 반도체 (semiconductor) 제작에 이상적인 선택이 가능합니다.