판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269711

텔/도쿄 전자 CS500 (TEL/TOKYO ELECTRON CS500) 은 고급 전자 장치 제조를위한 고해상도 리소그래피를 제공하는 고급 포토리스 시스템입니다. TEL CS500은 PRSC (Photo Resist Spin Coating) 및 VFO (Variable Focus Optics) 와 같은 최첨단 기능을 사용합니다. PRSC는 기판에 포토 esist를 배치하는 데 사용됩니다. 이 과정 을 통해 광전사 "필름 '의 두께 가 균일 해져서, 노출 용량 과 선폭 이 크고 작은" 패널' 에서 동일 하다. VFO는 레이저를 사용하여 포토레스 레이어의 정확하고 고해상도 패턴을 확인합니다. "레이저 '빛 은" 크리티컬' 한 무늬 와 노출 을 위한 정확 한 층 이나 기판 의 영역 에 초점 을 맞추고 있다. PRSC 및 VFO 외에도 TOKYO ELECTRON CS 500은 또한 photolithography 프로세스를 돕는 온도 조절 단계를 특징으로합니다. "스테이지 '는 광저항 층 의 균일성 을 촉진 하기 위하여 기판 에 열 을 가한다. 이 단계는 또한 치료 시간을 최적화하여 노출 정확도를 향상시킵니다. TEL CS 500은 또한 빠르고 쉬운 프로세스 제어를 위해 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 직관적인 GUI를 통해 레시피 관리, 노출 선택, 매개변수 조정, 프로세스 모니터링 등을 간편하게 수행할 수 있습니다. 또한 실시간 이미지 뷰어 (real-time image viewer) 를 사용하여 노출 작업 중 모니터링할 수 있는 기판 이미지를 표시합니다. CS 500은 현대 반도체 제조에 필수적인 도구입니다. 그것 은 완성 된 장치 의 정확성 이나 질 을 희생 하지 않고 "박막 '재료 의 정확 한 무늬 를 제공 한다. 도쿄 전자 CS500 (TOKYO ELECTRON CS500) 은 생산 비용을 절감하고 다양한 제품에 대한 최고 수준의 해상도를 제공합니다. 이 시스템은 고해상도 포토리토그래피 (photolithography) 가 필요한 칩 제조업체에 적합한 안정적이고 비용 효율적이며 권장되는 솔루션입니다.