판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269702

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고정밀 사진 석판 촬영을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 직물· 청소실 설치가 용이한 컴팩트바디 (compact body) 를 갖추고 있으며, 마스크· 무늬를 제작할 수 있고, 반복성과 정확도가 뛰어나다. TEL CS500은 고정밀 스테이지 및 스캐닝 레이저 시스템을 사용하여 기판 및 포토 esist의 움직임을 정확하게 제어합니다. 스테이지 (stage) 의 반복 가능성은 1äm이며 스캐너는 0.03äm의 정확도로 이동 패턴을 반복 할 수 있습니다. 감광 유리, GaAs, 석영 및 기타 고급 재료를 포함한 다양한 기판을 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 진공 척 및 정전기 커패시턴스를 사용하여 기판을 확보하고 노출을 최적화합니다. 광학 장치는 빛을 균등하게 분산하고 강도 이질성 오류를 줄이기 위해 설계되었습니다. 전체 머신은 10 분 정도의 시간 단위로 전체 마스크를 노출시킬 수 있으며, 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 노출 패턴과 대용량 마스크 스캐닝 (continuous scanning) 도 지원합니다. CS 500 과 함께 사용되는 포토리스 (photoresist) 는 사용자가 정확하게 정의하므로 개발자가 생성한 패턴의 해상도를 제어할 수 있습니다. 최대 17mJ/cm2의 노출 범위를 가진 TOKYO ELECTRON CS500은 다양한 응용 분야에 적합합니다. 최대 300mm 직경의 포토 마스크 크기를 지원할 수 있으며, TEL/TOKYO ELECTRON CS 500과 추가 시스템을 통합 할 수있는 개방형 아키텍처 설계를 갖추고 있습니다. CS500 은 최소한의 유지 보수 요건으로 설계되었으며, 원격 모니터링 및 운영을 위해 네트워크로 연결할 수 있습니다. 다른 TEL 리소그래피 (lithography) 시스템과 통신하여 운영 시간과 워크플로를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. TEL CS 500은 고정밀 포토 리토 그래피 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는 포토 시스트 도구입니다.