판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269697

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 극한의 화학, 기계 및 열 안정성을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 노출, 개발, 프리 베이킹 및 포스트 베이킹 프로세스를 수행하는 TEL CS500 포토 esist 유닛 자체와 레시피 및 머신 매개 변수를 조정 할 수있는 관련 소프트웨어 (수반) 의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. TOKYO ELECTRON CS 500 도구를 사용하면 메모리 IC 칩 생산 시설에서 포토 esist의 정밀 노출 및 개발을 할 수 있습니다. 매우 정밀하게 측정 된 노출 자산과 별도의 다이 플라즈마 프리 베이크 장치 (Die Plasma Pre-Bake Unit) 의 조합은 뛰어난 균일성, 반복 성 및 속도를 제공합니다. 세밀한 스레드 높이 조정 메커니즘은 높은 정밀도 노출 제어를 제공합니다. 이 모델은 또한 우수한 결과를위한 자동 개발 헤드 (development head) 를 특징으로하며, 내장 필름 두께 모니터가 장착되어 있습니다. 동반 소프트웨어는 마우스 클릭으로 마스크 크기, 노출 용량, 개발 시간, 프리 베이킹 (pre-baking) 및 포스트 베이킹 (post-baking) 온도 등 모든 프로세스 매개변수를 제어하고 조정할 수 있는 수단을 제공합니다. 레시피 매개변수는 메모리에 저장하고, 나중에 사용하기 위해 리콜하여, 정확한 레시피를 간단하게 반복 처리할 수 있습니다. 장비는 또한 긴 수명의 광학 슬릿 장치 (optical slit unit) 를 통합하여 정확한 측정을 위해 필름 두께 모니터와 함께 매우 정확한 레벨링을 제공합니다. 또한, 이동 및 세척 시간 동안 충격 로드를 피하기 위해 전자 자동 저항 네거티브 컨트롤이 제공됩니다. 이 시스템은 손쉽게 설치할 수 있는 컴팩트 (compact) 구성을 제공하며, 낮은 유지 관리, 낮은 에너지 소비량, 낮은 소음 수준을 제공합니다. 매우 가혹하고 부식적인 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 다양한 화학 물질, 용매와 호환됩니다. 이 장치는 높은 수준의 화학 물질, 기계 및/또는 열 안정성 (thermal stability) 을 가지고 있으므로 가장 견고한 생산 환경에서 사용하기에 적합합니다. 결론적으로, TEL CS 500 포토레시스트 머신은 매우 정밀하고, 작동하기 쉬운 도구로서, 뛰어난 균일성과 반복성을 제공합니다. 특징과 안정성으로 인해 메모리 IC 칩 생산 시설에 이상적인 자산이되었습니다.