판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269651

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 다양한 석판 기술을 사용하여 표면에 고품질 미세 구조 (고해상도) 를 만듭니다. 이 시스템은 디지털 이미징 (digital imaging) 기술을 사용하여 나노 스케일 수준의 정확도로 고정밀 설계 기능을 생산합니다. TEL CS500은 웨이퍼 표면에 포토 esist 코팅을 UV (ultra-violet) 광원에 노출시킵니다. 이 UV 표시등은 웨이퍼에 전달되기 전에 고해상도 (high resolution) 프로그램에 의해 변조됩니다. 이 "프로그램 '은 여러 가지 포토레지스트 유형 에 맞게 조정 할 수 있으며, 그 로 인해 사용자 들 은 정확 하고 정확 한 설계 를 얻을 수 있다. TOKYO ELECTRON CS 500은 또한 고급 진공 장치를 사용하여 코팅 과정에서 주변 공기 오염을 줄입니다. 이것 은 결함 을 감소 시키고 입자 가 "코우팅 '을 적용 할 때 막지 못하게 한다. 이 기계에는 고급 DTP (Dose-Time Printer) 소프트웨어도 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어를 사용하면 사용자가 UV 광원의 노출 (exposure) 및 용량 (dose) 수준을 설정할 수 있습니다. 이렇게 하려면 원하는 디자인 패턴을 소프트웨어에 직접 입력해야 합니다. 그런 다음 사용자는 실시간 용량 (real-time dose) 수준을 모니터링하고 원하는 설계를 위해 노출을 최적화할 수 있습니다. CS 500은 또한 UV 방사선으로부터 인원과 장비를 보호하는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 자외선 (UV) 노출을 감지하고, 직원들이 보호복을 입고, 안전한 작업 거리를 유지할 수 있도록 하는 실시간 이미징 도구가 포함됩니다. 에셋은 또한 방사선 노출을 줄일 수있는 방사선 차폐 및 차폐 필터를 제공합니다. TEL CS 500은 반도체 장치 제작자에게 귀중한 도구로서, 나노 스케일 수준의 정확성, 주변 공기 오염에 대한 진공 보호, 유해한 UV 방사선으로부터 인원과 장비를 보호하는 안전 기능을 갖춘 정확한 설계 기능을 제공합니다.