판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269646

텔/도쿄 전자 CS500 (TEL/TOKYO ELECTRON CS500) 은 여러 최첨단 기술을 사용하여 기존의 포토 esist 기술보다 더 높은 품질의 결과를 만들어내는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 우수한 photoresist 이미지를 만들기 위해 함께 작용하는 여러 구성 요소가 있습니다. 첫째, 이 장치에는 포토레스 필름 (photoresist film) 의 성공적인 노출을 보장하기 위해 수요가 많은 딥 -UV 광원이 장착되어 있습니다. 이 기계는 다양한 유형의 포토 레스트 필름 (photoresist film) 의 스펙트럼 요구 사항에 맞게 250 ~ 410 nm의 파장을 갖습니다. 광원에는 노출 시간을 조절하고 포토레지스트 (photoresist) 레이어의 무결성을 유지하기 위한 고효율 셔터 (shutter) 도구도 포함되어 있습니다. 이 자산은 또한 자동 웨이퍼 처리 모델 (wafer handling model) 을 갖춘 완전 자동화 스테이지로, 직경 2 ~ 300mm 범위의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 "웨이퍼 '처리 장비 에는 진공" 척' 과 넓은 지역 의 노출 에 이상적 인 자동화 단계 가 갖추어져 있다. 또한, 시스템은 매우 정확한 기판 위치 모니터링 장치를 유지하여 포토레스 레이어의 균일하고 반복 가능한 노출을 우선시합니다. TEL CS500은 또한 첨단 저항 침수 기계 (Advanced Resist Immersion Machine) 기술을 갖추고 있어 충전 된 저항에서 적절한 저항 공급 및 공기 거품 제거를 보장합니다. 이 도구는 저항의 균일하고 지속적인 보충을위한 견고하고 효율이 높은 순환 에셋 (circulation asset) 으로 설계되었습니다. 마지막으로, 이 모델에는 정확한 저항 응용과 균일 한 필름 형성을 위해 2 개의 고급 분배 모듈이 있습니다. 이 모듈은 정밀도와 정확도가 높은 분배 (dispensing) 방법을 사용하여 균일하고 일관된 photoresist 패턴을 만듭니다. 이 기능의 결과는 포토레스 필름 (photoresist film) 특성이 뛰어난 고성능 이미지와 균일 한 패턴을 만들 수있는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 첨단 기능 및 기술을 갖춘 TOKYO ELECTRON CS 500은 다양한 포토 esist 시스템 요구에 대한 우수한 결과를 제공 할 수 있습니다.