판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269644

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
ID: 9269644
System DECO LE4000A Oven.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist 장비는 리소그래피 반도체 제작을 위해 설계된 매우 정밀한 최첨단 시스템입니다. 첨단 기술 을 사용 함 으로써, 이 장치 는 광전물질 을, 정밀도 가 높은 반도체 "웨이퍼 '와 기판 에 정확 하고 안정적 으로 증착 시킬 수 있다. 이 기계는 레이저 보조 증착 분배 헤드 (laser-assisted deposition dispense head) 와 고온 오븐 (high temperature oven) 의 조합을 사용하여 매우 정밀하게 복잡하고 복잡한 패턴을 생산할 수 있습니다. 고온 "오븐 '을 사용 함 으로써, 증착 과정 을 최적화 하는 데 더 높은 온도 과정 이 사용 되며, 이것 은" 포토레시스트' 가 아무런 간격 도 없이 균일 하게 코팅 하는 데 도움 이 된다. 또한, 다른 레이저 빔 (laser beam) 을 선택하여, 도구의 제어를 조정하여 포토리스 (photoresist) 프로세스 동안 가장 큰 수준의 균일성과 정확도가 전달되도록 할 수 있습니다. 자산의 핵심은 독점 컴퓨터 소프트웨어 (Computer Software) 로 증착 과정을 정확하고 안정적으로 제어합니다. 본 소프트웨어는 다양한 운영 매개변수 (production parameter) 를 제공하여 다양한 고객 요구 사항을 충족하도록 프로세스를 미세하게 조정할 수 있습니다. 또한 "레이저 빔 '특성을 세밀하게 조정하여 정확도가 높은 특정 패턴을 처리할 수 있습니다. 이 모델에는 제품 유형과 농도를 빠르고 효율적으로 변경할 수 있는 카트리지 (카트리지 교체 가능) 를 갖춘 카트리지 장비 (카트리지 장비) 도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면, photoresist 레이어를 필요한 사양의 편차 없이 쉽고 정확하게 재생할 수 있습니다. 매우 정확하고 안정적인 처리 기술을 사용하여 생산 된이 고급 시스템 (advanced system) 은 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 기판 생산에 필수적이며, 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 기판 간의 최고 수준의 완벽성 (Perfecture) 과 균일성 (Unifority) 을 보장하며, 가장 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 초과합니다.
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