판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269643

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 광범위한 웨이퍼 처리 작업을 가능하게하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 광 소시스트 (photoresist) 는 처리하기 전에 반도체 웨이퍼의 표면에 적용되는 빛에 민감한 물질이다. 포토리스 스트 (photoresist) 를 적용 한 후, 웨이퍼는 빛에 노출되어 석판적으로 패턴 화 된 저항 필름이 된다. TEL CS500은 다양한 제작 작업에서 뛰어난 성능을 제공 할 수 있습니다. 이 제품은 고해상도 마스크 이미지 전송 시스템을 통해 탁월한 패턴 해상도로, 2 "~ 6" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니다. 또한이 장치에는 고정밀 홀더 포지셔닝을위한 2 축 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있습니다. 내장형 모니터를 사용하면 동일한 모니터에서 실시간으로 보고 프로세스 제어를 수행할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 고속 노출 광원으로 구성되어, 더 짧은 노출 시간, 더 빠른 처리 주기를위한 모터 구동 웨이퍼 스테이지, 더 높은 성능을 위해 우수한 냉각 시스템을 제공합니다. 이 기계는 또한 정밀 노출 설정을 허용하는 자동 노출 조정 도구 (Automatic Exposure Adjustment Tool) 를 갖추고 있습니다. 또한 처리 제어가 용이한 터치스크린 사용자 인터페이스가 장착되어 있으며, 모든 CAD/CAM 소프트웨어와 완벽하게 호환됩니다. CS500은 또한 웨이퍼 (wafer) 환경을 보존하기 위해 보호 된 오염 방지 (anti-contamination) 경향과 모든 유형의 포토 esist를 적용하기 위해 프로그래밍 가능한 회전 자산을 제공합니다. 첨단 디지털 카메라와 광학 검사 (Optical Inspection) 모델을 통해, 장비는 손쉽게 결함을 감지하고 사용자에게 명확한 피드백을 제공할 수 있습니다. 전반적으로, TEL CS 500은 뛰어난 웨이퍼 처리 성능을 제공 할 수있는 고급 포토 esist 시스템입니다. 최적의 결과를 얻을 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있어, 모든 fabricator 에 꼭 필요한 단위가 됩니다.