판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269642

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 고성능 포토 esist 장비입니다. TEL CS500 은 고해상도와 처리량을 모두 갖춘 까다로운 다중 계층 (multi-layer) 프로세스를 정확하게 재현할 수 있도록 설계된 멀티 전략 시스템입니다. 고해상도 LCD 마이크로 포커스 옵틱, 듀얼 로딩 스테이션, 스캐닝 가스 인젝터 시스템 및 자외선 (UV) 조명기가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 500MHz LCD 마이크로 포커스 옵틱, 듀얼 로딩 스테이션, 독특한 옵틱 및 동기화 제어 장치를 갖춘 고속 노출 용량을 자랑합니다. 이를 통해, 시스템은 정확한 해상도 및 라인 너비 제어를 통해 다양한 단일/다중 레이어 노출 (multi-layer exposure) 프로세스를 효율적으로 처리할 수 있습니다. 또한, 스캐닝 가스 인젝터 (Scanning Gas Injector) 도구는 노출 과정에서 균일성과 균일성을 보장하여 매우 복잡한 패턴을 정확하게 처리 할 수 있도록 도와줍니다. 자외선 (UV illuminator) 에는 정밀하게 제어 할 수있는 다양한 파장과 강도 수준이 제공됩니다. 이를 통해 멀티 그레이 스케일 (multi-gray scale), 분할 노출 (split exposure) 및 다중 노출 (multiple exposure) 과 같은 다양한 유형의 패턴을 정확하게 재현할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON CS 500에는 독립적인 로드 및 언로드 프로세스뿐만 아니라 정확한 정렬 및 프로세스 모니터링을 수행할 수있는 정교한 자동화 자산이 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 패턴 설정 (pattern setup) 및 정렬 (alignment) 매개변수를 제공하여 다양한 기판을 포괄적으로 적용 할 수 있습니다. 전반적으로 CS500은 소형 설치 공간이있는 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 광범위한 노출 구성, 정교한 자동화 장치 (automation unit), 정확한 패턴 설정 및 노출, 이전 시스템보다 훨씬 빠른 속도를 제공합니다. 따라서 고해상도가 요구되는 고급 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.