판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269638

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 포토 esist 장비는 반도체 제작에서 정교한 프로세스를 가능하게하도록 설계된 고급 석판 시스템입니다. 이 장치는 포토 마스크 (photomask) 를 사용하여 반도체 웨이퍼를 매우 정확하게 패턴화하는 데 사용됩니다. TEL CS500에는 칩 제작 중 최적의 정확성과 속도를 보장하는 고성능 정렬 머신이 있습니다. 고밀도 웨이퍼에서 안정적이고 균일 한 패턴을 가능하게하도록 설계되었습니다. 공구의 정확성은 4 "웨이퍼 크기에 대해 10 나노미터 해상도의 고밀도 정렬 단계를 통해 보장됩니다. 이 자산은 또한 Wafer 프로세스 정보를 관리하는 고급 데이터 제어 모델을 갖추고 있습니다. 주요 제어 장비와 상호 작용하여 정확하고 예측 가능한 성능을 보장합니다. 또한 그래픽 마스크 편집기가있는 고해상도 디지털 디스플레이 (High-Resolution Digital Display) 를 통해 마스크 패턴화 프로세스를 시각적으로 검사 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 또한 초광역 처리 기능을 위해 고급 MFF (magnetic-field-free) 모드를 제공합니다. 이 모드를 사용하면 전도 (conducting) 및 영구 자석 재료 (permanent magnet material) 로 인해 발생할 수 있는 특정 왜곡을 제거하여 고품질 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 강력한 조명 장치 (예: 전체 웨이퍼에 걸쳐 조명 균일성을 제공하도록 설계) 를 갖추고 있습니다. 이 균일성은 패턴 칩 디자인을 실현하는 데 필수적입니다. 조명기는 비대칭 동축 조명과 효율성 향상을 위해 필드 렌즈 (field lens) 를 사용합니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS 500은 내장 프로세스 모니터링 도구를 제공하여 각 패턴 웨이퍼를 실시간으로 확인할 수 있습니다. 이 모니터링 자산은 마스크 설계, CD, 포커스 오류에서 원하지 않는 왜곡 (Disortion in Mask Design, CD 및 Focus Error) 과 같은 문제를 감지하여 프로세스 엔지니어에게 제조 프로세스에 대한 즉각적인 피드백을 제공합니다. 전반적으로 CS 500 포토 esist 모델은 정교한 반도체 처리를 위해 설계된 고급 석판화 장비입니다. 다양한 기능을 통해 정확성, 균일 한 패턴화, 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 보장하며, 고품질의 복잡한 칩 디자인을 제작하는 데 귀중한 도구입니다.