판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269637

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 진공 자외선 시스템 (VUV) 을 사용하여 기판에서 횡단면 모양 (예: 선, 구멍) 의 생성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. VUV 경단위는 사용자가 지정한 강도 설정에 맞게 조정할 수 있으며, 다중 초점 머신 (multi-focus machine) 을 사용하여 여러 기판에서 VUV 조사의 균일성을 높입니다. 이 도구는 다양한 포토레지스트 (photoresist) 재료를 사용하여 다양한 기판에 대한 양수 유형 (positive type) 및 음수 유형 개발자 (negative type developer) 를 포함하여 원하는 결과를 얻습니다. 고급 제어 자산을 통해 TEL CS500은 반복 가능한 프로세스 결과와 매우 정확한 에칭을 보장합니다. 이 모델은 복잡한 모양을 만드는 데 적합하며, 실리콘, 폴리머, 금속 (metal) 과 같은 기질에서 라인과 홀 에칭의 대용량 처리에 적합합니다. TOKYO ELECTRON CS 500은 고정밀 계량 메커니즘과 시간 제어 개발을 가지고 있습니다. 정밀 계량 장비 덕분에, 필름 두께를 모니터링하면서 화학 물질과 노출 시간 (노출 시간) 을 조정하여 기판 전체에 걸친 필름 두께의 균일성을 보장 할 수 있습니다. 시간 조절 개발 시스템을 통해 도쿄 전자 CS500 (TOKYO ELECTRON CS500) 은 패턴이 개발됨에 따라 농도 및 노출 시간을 평가하고 조정 할 수 있습니다. 또한 CS 500 에는 장치 및 프로세스 검사를 수행하고 반복 처리 가능한 설정을 기록하는 자체 진단 프로그램이 내장되어 있습니다. TEL CS 500 은 포괄적인 안전 프로그램 (Safety Program) 과 함께 다양한 안전 기능을 제공하여 사용자와 시스템 모두를 위험 요소로부터 보호합니다. 방사선 및 "레이저 '안전 대책 이 시행 되고 있으며, 이 도구 는 안전 을 향상 시키기 위해 엄격 한 온도, 압력 및 CO2 모니터링 대책 을 시행 한다. CS500 은 포토레시스트 (photoresist) 소재의 처리 및 에칭에 대한 업계 표준을 설정하는 강력한 자산입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 뛰어난 제어 및 반복 능력, 종합적인 안전 측정으로 인해 포토리스 (photoresist) 처리 및 에칭을위한 최상위 선택이되었습니다.