판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269635

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 응용 분야에 사용되는 고성능 포토 esist 장비입니다. photoresist 시스템은 고급 이미징 광학, 고정밀도 및 견고한 역학, 고급 소프트웨어의 조합을 사용합니다. 그 결과, 매우 강력하고 신뢰할 수 있는 플랫폼으로, 광범위한 저항 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다. TEL CS500은 DBP (Digital Beam Projection) 기술을 사용하여 기판에 포토 마스크의 고정밀 노출을 제공합니다. 이 기술은 각 구조의 균일 한 노출과 패턴의 반복 성을 보장합니다. 또한, 이 장치는 제어 된 강도 조명 및 최적화 된 광학 방법을 사용하여 눈부심, 공간 의존적 조명 및 고해상도 이미징을 감소시켜 생산 속도를 높이고 수율을 증가시킵니다. 도쿄 전자 CS 500 (TOKYO ELECTRON CS 500) 의 최고 해상도 수준은 서브 미크론 (sub-micron) 기술을 사용하여 정확한 이미지를 레지스트 기판에 정확하게 재현함으로써 달성됩니다. 또한, 이 기계는 얇은 저항재 (0.2 m) 를 처리 할 수 있으며, 다이 정렬 수준의 정확도를 갖춘 고정밀 오버레이 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능 및 장점 조합을 통해 사용자는 광범위한 저항 사진 (resist photolithography) 응용 프로그램에 대한 최적의 프로세스 매개변수를 달성 할 수 있습니다. CS500의 고급 소프트웨어는 도구의 기능을 더욱 향상시킵니다. 사용자가 저항 프로세스 (Resist Process) 동안 에셋의 매개변수와 설정을 완전히 제어할 수 있도록 함으로써, 모델의 정확성과 신뢰성을 크게 높이고, 작동 시간을 대폭 단축합니다. 안전성· 유지보수 측면에서 CS 500 은 부스러기 입자를 제거하고 오염의 위험을 줄이기 위한 자동청소 장비로 설계돼 있다. & # 160; 공정 작업 중 우발적 (accidental) 노출 방지를 위한 내장 안전 연동과 함께, 이러한 기능은 사용자 안전을 크게 향상시킵니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON CS 500은 고급 광학, 고정밀 및 견고한 역학, 고급 소프트웨어를 결합하여 광범위한 저항 처리 요구 사항을 지원하는 프리미엄 포토리스 시스템입니다. 이러한 기능을 활용한 TEL CS 500은 고정밀도, 고해상도 (High-resolution) 생산으로 수율을 극대화하고 작동 시간을 최소화할 수 있습니다.