판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269632

TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 매우 정밀한 집적 회로 및 기타 딥 서브 미크론 구조의 생산을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 리소그래픽 (lithographic) 광학의 고해상도 (high resolution) 와 넓은 영역 처리 기능 및 내장된 자동화 기능을 결합하여 복잡하고 고성능 회로 패턴화를 효율적이고 안정적인 방식으로 만들 수 있습니다. 이 장치의 중심에는 TEL 독점 직접 조명 광학 기술 (TEL proprietary direct-illumination optics technology) 이 있으며, 이는 영상 포토 esist 레이어에 뛰어난 해상도와 대비를 제공합니다. 광학에는 패턴 모양 기록을위한 스캔 마스크 프로젝션 머신 (SMPS), 현미경이있는 Karl Suss MA65 마스크 정렬기, XY 단계에 장착 된 이진 (x-tal) 렌즈 및 텔레 센터 프로젝터 렌즈가 포함됩니다. 이 독특한 광학 구성 요소 조합은 1nm RMS 영역에서 비교할 수없는 LWR (Linewidth Roughness) 값을 생성합니다. TEL CS500은 반입자 보호 (anti-particulate protection) 및 정밀 웨이퍼 포지셔너 (precision wafer positioner) 를 갖춘 전체 서보 구동 웨이퍼 스태킹 도구를 포함한 웨이퍼 처리 및 자동화를 통해 병렬 처리 및 측면 정렬 정확성을 보장합니다. 이렇게 하면 이미징 스테이션에서 "웨이퍼" 를 빠르고 쉽게 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 자산에는 광범위한 소프트웨어 툴과 제어/운영 기능도 함께 제공됩니다. 노출 에너지, 스팟 크기, 노출 균일성, 공정 온도, 마스크 정렬 정확도와 같은 모든 매개변수는 직관적인 컴퓨터 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 에서 정확하게 제어 할 수 있습니다. 미리 설정된 레시피 레시피 및 사용자 정의 프로세스를 모델에 저장하여 웨이퍼 배치 (Wafer Batch) 를 신속하게 처리 (Turnaround) 할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON CS 500은 요구 사항이 높은 집적회로 및 기타 고급 포토레지스트 (photoresist) 구조를 생산하기위한 고급 기능을 갖춘 고급 장비입니다. 안정적이고 정확한 이미징 기능, 무중단 자동화, 포괄적인 소프트웨어 제품군을 통해 모든 상용 포토레지스트 (photoresist) 생산 환경에 이상적인 선택이 됩니다.