판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9101359

ID: 9101359
빈티지: 2001
PEP track system Wafer size: 370 x 470 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500은 반도체 장치 제조에 사용되는 포토 esist 시스템입니다. 포토리토그래피 (photolithography) 를 사용하여 기판에 다양한 패턴화된 서피스를 생성하는 다용도 도구입니다. TEL CS500은 스피너 (spinner), 광 투영 장치 (optical projection device) 및 데이터 입력 및 출력용 노트북의 조합입니다. 시스템의 스피너 구성 요소는 photoresist 기판을 회전시킵니다. 일련의 소형 모터와 기어로 제작되었습니다. "모우터 '는 기판 을 빠르게 회전 시켜, 기판 표면 에 얇은" 포토레지스트' 한 장 을 고르게 돌린다. 스핀 속도를 정확하게 제어 할 수 있으며, 이는 기질을 빛에 노출 할 때 필수적입니다 (photolithography). 광학 프로젝션 장치는 특화된 전자 화면입니다. 기판 표면을 스캔하는 데 사용됩니다. 내장 이미지 레크리에이션 소프트웨어는 원하는 패턴을 전자 이미지로 캡처합니다. 그런 다음 이미지가 기판에 투영됩니다. 이 과정을 통해 원하는 패턴을 기판에 정확하게 에칭할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON CS 500의 노트북 구성 요소는 데이터를 입력 및 출력하는 데 사용됩니다. 노트북은 원하는 패턴의 이미지를 저장하고 스피너 (spinner) 및 투영 (projection) 장치를 제어합니다. 또한 다른 컴포넌트를 제어하여 정밀도를 보장하는 동안 기판에 이미지를 표시합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON CS 500 시스템은 반도체 장치 제작을위한 강력하고 다양한 도구입니다. 이 도구는 집적 회로, 석판화 (lithography), 인쇄 회로 (printing circuit) 기판 제작과 같은 많은 산업 응용 분야에 중요한 도구입니다. 반도체 제작 산업의 필수 부분입니다.
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